招标
GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪
金额
-
项目地址
湖南省
发布时间
2021/11/19
公告摘要
项目编号cb119422021004702
预算金额-
招标公司中南大学
招标联系人-
标书截止时间-
投标截止时间-
公告正文
GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪
申购单号:CB119422021004702 签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
申购主题:GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪 送货时间:合同签订后30天内送达
采购单位:中南大学 安装要求:免费上门安装(含材料费)
报价要求:国产含税 收货地址:湖南省/长沙市/岳麓区/****
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:******
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:
申购明细:
序号 采购内容 数量 预算单价
1 GVC-2000T高真空磁控离子溅射仪 1.0台
品牌 北京格微仪器有限公司
型号 GVC-2000T
规格参数 系统采用ARM或单片机等微处理器控制,全数字显示,中文操作界面;彩色液晶屏显示,触摸屏操作,屏幕尺寸不小于7英寸;真空室内径不小于150mm,高度不低于100mm; 最大溅射电流不小于180mA,最小溅射电流不大于5mA,步进量为5mA; 采用涡轮分子泵和旋片真空泵组合的真空泵组作为抽气单元,其中涡轮分子泵的抽速不小于80L/s; 系统可实时显示分子泵转速、电压、电流、轴承温度等工作参数; 系统极限真空优于5E-3Pa; 最长溅射时间不小于999秒; 10.具备可旋转样品台,转速可调,最高转速不小于20转/分; 具备预溅射挡板,确保镀膜纯度,减少污染。 内置不少于10种靶材溅射参数,包括金、铂、铬、钨、钛、铝、镍等常用靶材;可设定:(1)溅射电流;溅射时间;靶材种类;屏幕亮度等参数; 可显示:溅射电流;)溅射剩余时间;工作真空度;靶材累计使用时间;设备累计使用时间;分子泵转速、轴承温度、工作电流、电压;当前使用靶材种类;工作方式等参数。溅射电流:-180mA连续可调,最小步长为5mA; 5.溅射时长:1-999s连续可调,最小步长为1s; 可用溅射靶材:所有金属靶材、ITO靶; 真空室采用高透光性的高硅硼玻璃,尺寸约为φ200×130mm; 可容纳最大样品杯直径为φ120mm; 高真空泵:进口涡轮分子泵,抽速为90L/s; 10.低真空泵:旋片式真空泵,抽速为1L/s; 11.真空规管:进口复合规,量程为1E-3Pa到1E5Pa; 12.系统极限真空:<5E-3Pa; 系统工作真空:0.1-5pa(根据靶材不同,工作真空不同); 1工作模式:具备自动和手动两种工作模式,可在系统内设置; 样品台旋转:4-40rpm可调; 具备预溅射挡板,在溅射开始时,先对靶表面进行清洁,此时挡板闭合;开始工作时,挡板自动打开,提供镀膜纯度; 具备溅射电流和真空度双重互锁,安全可靠,任一条件触发,系统即可停止工作,防止因为误操作导致设备损坏
质保及售后服务 按行业标准提供服务

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