一、项目名称：表面微区光学及物理性质综合表征系统

二、招标编号：S2022102

三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　　传真：0512-67165076

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-67504198，67504359

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：Ivasenko Oleksandr Sergiiovych老师　

电话：0512-65880215，15851466068

电子邮箱：ivasenko@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

　表面微区光学及物理性质综合表征系统1套

　　表面微区光学及物理性质综合表征系统通过椭偏仪与扫描探针显微镜的联用，实现表界面分子组装及原位实时反应的表界面表征，在获得薄膜的膜厚、折射率、吸光系数、带隙、介电常数等信息外，同时获得同区域的纳米级空间分辨率的表面形貌、力学、电学、磁学等信息。

（一）主要技术指标及配置要求

　1、技术要求

1.1应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），对特殊结构的材料具有光学性能分析能力；同时具备完整的形貌学、电学、力学等测量功能。

1.2测量范围：Psi= 0°～90°，Delta= 0°～360°，无死区。

*1.3 Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi = 45°,Delta = 0°），满足：

Ψ≤45°±0.01°，Δ≤0°±0.02° （1.5eV-5eV）。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）

1.4测量重复性（80nm -100nm SiO₂/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4Å，折射率n（633nm）≤0.0003。

1.5 具备稳定的原子级、分子级分辨能力。

　2、椭圆偏振光谱仪配置

2.1光谱范围覆盖190nm～ 2100nm。

2.2 激发头

2.2.1光源：高稳定氙灯，功率≥75W，包括电源和用于监测灯寿命的计时器。

2.2.2使用消色差反射镜系统将激发光聚焦到样品上。

*2.3 探测头：要求采用光弹调制的相位调制技术，频率≥30kHz。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）

2.4探测系统：

2.4.1双级相加光谱仪，2次分光抑制杂散光。

2.4.2高杂散光抑制比，杂散光水平低至10^-8。

2.4.3配置光电倍增管PMT以及InGaAs检测器。

2.5入射角：自动量角器，角度可从40°到90°变化，最小步进为0.02°。

2.6 自动样品台：X范围200 mm , 最小步长 0.02 mm；Y范围200 mm , 最小步长 0.02 mm。

2.7配置基于反射镜的消色差微光斑，至少提供三个光斑尺寸（90度入射）：50um，100um，1mm。

2.8 提供透射样品池，能够测试透过率。

　3、扫描探针显微镜

3.1 测量模式，必须具备如下全部测量模式：

3.1.1轻敲模式 (AC mode)

3.1.2接触模式 (Contact mode)

3.1.3非接触模式（Non-contact mode）

3.1.4耗散模式（Dissipation mode）

3.1.5相位成像模式 (Phase imaging)

3.1.6横向力模式 (Lateral force Microscopy LFM)

3.1.7磁场力显微镜 (Magnetic Force Microscopy, MFM)

3.1.8压电力显微镜 (Piezo Response Force Microscopy, PFM)

3.1.9静电力显微镜 (Electric Force Microscopy, EFM)

3.1.10扫描开尔文显微镜(Kelvin probe force microscopy,含AM-KPFM和FM-KPFM)

3.1.11扫描电容显微镜(Scanning Capacitance Microscopy, SCM)

3.1.12力曲线测试（Force curve）

3.1.13力阵列测量 (Force mapping Measurement)

3.1.14力调制模式（Force modulation mode）

3.1.15抬高模式（Two-pass scan）

3.1.16纳米刻蚀 (Nanolithography)

3.1.17纳米操纵 (Nanomanipulation)

3.1.18液体环境AFM( AFM in liquid)

3.1.19导电力模式（conductive Force Microscopy CAFM ）

3.1.20扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope, STM)

3.2 扫描器

3.2.1扫描方式：样品扫描。

3.2.2闭环平板扫描器，扫描范围：≥100μm×100μm ×15μm。

3.2.3扫描器非线性≤0.05%

3.2.4扫描器热漂移≤0.5nm/min。

*3.2.5高频共振扫描器：XY轴≥7kHz；Z轴≥10kHz。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）

3.2.6使用同一个扫描器完成大至100μm×100μm，小至分子分辨率的范围扫描，无需更换扫描器。

3.2.7针尖-样品趋近方式：马达全自动趋近。

3.3 高精度AFM测量头

3.3.1系统噪声≤0.05nm RMS。

*3.3.2反馈激光≥1000nm。独立AFM反馈激光光路，反馈激光不允许穿过任何其它光谱激发物镜。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）

3.3.3软件操作“反馈激光—悬臂梁”快速全自动准直，无需手动调整。

3.3.4更换探针操作简单，无需从系统上移除AFM测量头，无需移动样品。

3.3.5可以兼容液体环境成像功能。

3.4 样品台

3.4.1最大样品尺寸≥50×40mm, 最大样品厚度≥15mm。

3.4.2自动样品台，XY方向最大位移范围≥5mm，样品台定位精度≤1μm。

3.5 导电力显微镜（CAFM）专用配置包

3.5.1电流范围：100fA-10uA , 电流分辨率：≤60fA。

3.5.2电流范围： -10 V到+7V。

3.5.3提供伏安特性曲线。

3.6 多模式AFM针尖包

3.6.1非接触和轻敲模式探针，悬臂背面镀有反射层，15根。

3.6.2AFM探针用于开尔文，导电AFM，静电力，有镀层，15根。

3.6.3磁力显微镜探针，15根。

3.6.4 接触模式或液体模式探针，有镀层，15根。

3.7 高精度高频数字控制器

3.7.1模块化全数字扩展控制器。

3.7.2数字信号处理器≥300MHz。

3.7.3数模转换器≥500 kHz，通道≥20个，记录系统的频率范围≥5 MHz。

3.7.42套频率范围为5 MHz的锁相放大器。

3.7.58套数字32位发生器，5 MHz频率范围，0.018Hz精确度。

3.7.67步进马达控制。

3.8 其它

3.8.1顶视CMOS相机系统，分辨率≤1μm。

（二）质保期不少于1年

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

（1）所投标产品多项参数偏离招标要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

（2）所投产品不满足招标文件标注“*”技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣4分。

（3）所投产品不满足招标文件未标注“*”技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（4分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所投产品的市场反馈情况（11分）。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分；

2．其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．投标人综合实力（2分）

根据投标人综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合招标文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据投标文件的相关承诺，在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它（3分）

（1）投标文件质量（1分）。根据投标文件的规范性、完整性等情况综合评定。

（2）其它优惠措施等（2分）。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外，评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

（一）投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

（二）投标文件二（文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价，否则作废标处理）

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明：

1、“投标文件一”和“投标文件二”应分别装订和密封，并加盖投标单位公章

2、“投标文件一”，正本一份，副本一份

“投标文件二”，正本一份，副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十、各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2022年10月24日12：00前将报名函（格式见附件4）发送邮件至采购人处（dingy@suda.edu.cn）；未在苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)注册的供应商，请在递交招标文件前完成注册。

十一、递交投标文件相关事宜：

　（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

　　1. 寄达时间：2022年10月27日9：00前；

　　2. 收件人信息：

　　　收件人：丁悦

　　　联系方式：13862165427

　　　收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区（采购与招投标管理中心）

　（二）现场递交方式

　　1. 递交时间：2022年10月27日8:30～9：00

　　2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间：2022年10月27日9:00。

十三、开标时间：2022年10月27日9:00。

招标附件.rar