滨州魏桥国科高等技术研究院 - 竞价公告 (CBBZWQGK2024000030)
发布时间：2024-01-22 13:21:18 截止时间：2024-01-31 00:00:00
基本信息：
申购主题：加热及旋转组件
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付90%，留10%质保金。
送货时间：合同签订后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：山东省/滨州市/滨城区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

加热及旋转组件

1/套

无

无

本次招标需要采购1套加热及旋转组件，还需将该系统安装在实验室的主设备上面。 一、功能描述： 1.旋转悬浮工件架由步进减速电机及磁流体装置组成，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，可沉积的工件尺寸≤166×166（mm），工件与聚焦坩埚间距离应满足HCD450设备要求，直径Φ100mm范围内薄膜均匀性≤±5%，直径Φ200mm范围内薄膜均匀性≤±10%，工件转速0～15rpm连续可调。 2.加热组件为管状加热器及多层屏蔽板结构，具有防止热变形，防止污染的装置，具有与HCD450空心阴极设备配套使用功能，并兼容HCD450标准接口法兰及旋转悬浮工件架结构。能够满足HCD450空心阴极设备的工艺需求，工件最高温度300℃。 二、参数要求： 由减速电机驱动，由磁流体机构馈入至真空室内侧。 基片托架带有定位槽，基片载板可手动放入到基片托架的定位槽内，镀膜时可根据镀制基片的规格选择载板。 需要提供三种外形尺寸一致的基片载板及一个掩膜载板，可根据镀膜工艺需求选择使用。 旋转工件架转速： 0～15rpm （公转） 工件载板尺寸要求： ①玻璃基片：156×156×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个； ②玻璃基片：120×120×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个； ③玻璃基片：50×50×3（mm），载板：164×164×5（mm）1个； ④玻璃基片：20×15×3（mm），掩膜载板：156×156×3（mm）（25穴）1个。

按行业标准提供服务