天津大学 - 竞价公告 (CB100562024000451)
发布时间：2024-06-21 15:56:54 截止时间：2024-06-25 09:00:00
基本信息：
申购主题：热蒸发镀膜机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：天津市/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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热蒸发镀膜机

1

维意真空

QS-EV3F

1 腔室尺寸：Ф246×260mm（具体尺寸以设计为准），1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接； 2 样品台：具有加热功能500℃，实际样品台温度不低于440℃，尺寸Ф100mm；另外样片台具备样片偏压清洗功能以及±60度倾斜角功能，具备独立的样品台挡板，膜厚仪探头位于挡板下方； 3 真空系统：机械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s，用CF法兰)；GDC-25b电磁挡板阀； 4 极限真空：8.0×10-5Pa； 5 真空抽速：大气～8.0×10-4Pa ≤ 30min； 6 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa； 7 蒸发源：3组电阻蒸发源，3组间可切换，源间有防污板，有挡板，距离 样品台220mm； 8 蒸发电源：直流蒸发电源1台，0 W～2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用； 9 偏压电源：配置1.5KV偏压电源一台，可对基片进行等离子辉光清洗； 10 膜厚控制系统：国产FTM-107A单水冷探头，控制精度1？； 11控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； 12设备外形：L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架，预留2个CF35法兰接口； 13 设备供电总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）； 14 冷却循环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷 部件提供稳定的制冷水；

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）