1、招标条件
项目概况:上海交通大学拟采购1套等离子辅助原子层沉积系统（金属）。该系统具有用热法与等离子体增强法两种沉积模式，主要用于沉积制备具有超薄、均匀性好的功能纳米薄膜材料，采用异型曲面样品加热台及优化流体结构，采用先进的远程ICP电感耦合等离子体辅助沉积技术，在低功率（不损坏衬底）、低温下，制备超薄（1~100 nm）、均匀性好的金属氧化物，如金属膜（Pt，Co等）、High-k介质膜Al2O3、TiO2、HfO2等、TSV通孔及深沟槽器件薄膜、化合物叠层及各类掺杂工艺薄膜等功能纳米薄膜材料。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0773-2241SHHW0172/09
招标项目名称:上海交通大学等离子辅助原子层沉积系统（金属）
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子辅助原子层沉积系统（金属） | 1套 | *1.2喇叭口式ICP远程等离子体反应腔，优化的气流分布结构，半球式样品加热台，加热台至于真空腔体中；其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。 | 预算金额：人民币320.00万元。 最高限价：本项目最高投标价格为320.00万元人民币。交货期：合同生效后8个月内；交付地点：上海交通大学用户指定地点。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权书（见格式 IV-9-4）； 2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件； 3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册； 4）不接受联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2022-12-01
招标文件领购结束时间:2022-12-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
招标文件售价:￥500/$80
其他说明:1） 投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）” 供应商注册进行网上注册。（2）注册转账之后，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发送至zjzb2022@126.com。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2022-12-22 09:30
投标文件送达地点:上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
开标地点:上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海交通大学
地址:上海市闵行区东川路800号
联系人:招采办经办人：陈老师；技术联系人：乌老师
联系方式:86-21-54744366；86-21- 34207734*8020
招标代理机构:中金招标有限责任公司
地址:上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
联系人:宋晓飞、张莹莹、朱杨峰
联系方式:86-21-66059798*108
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海斜桥支行
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海黄浦支行
账号(人民币):31001514800050010790
账号(美元):31001514800050010790
其他:户名：中金招标有限责任公司上海分公司
9、其他补充说明
其他补充说明:校内编号：招设2022A00182
