项目名称:高真空镀膜仪
项目编号:JJ2023000009
采购单位:福州大学
联系人: 中标后在我参与的项目中查看
联系电话: 中标后在我参与的项目中查看
预 算: ￥ 496000
供应商资质要求: 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品:高真空镀膜仪
采购数量:1
计量单位:台
所属分类:非通用设备
品牌:德国徕卡
型号:Leica EM ACE600
技术参数及配置要求:1、设备功能：可实现金属溅射镀膜、碳丝蒸发镀膜、辉光放电等功能。
2、设备性能指标
2.1、真空系统
▲2.1.1 真空泵：隔膜泵+涡轮分子泵（67 l/s），无油真空系统。
▲2.1.2 极限真空度：2×10-6mbar（连续抽真空24h）。
▲2.1.3 真空计：Pirani真空计+冷阴极真空计。
2.1.4 抽真空时间：分子泵全速，约需15分钟抽至5×10-5 mbar，约8分钟抽至10-4mbar（可以镀膜）。
▲2.1.5 离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FESEM）需求。碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜。
★2.2、镀膜方式
离子溅射法；
脉冲式碳丝蒸发镀膜法；
离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法；
辉光放电；
可以连接真空交换仓，与电镜配套实现冷冻镀膜，冷冻断裂，双复型，冷冻干燥和真空冷冻传输。
2.3、离子溅射法
2.3.1 离子溅射电流：15-150mA，连续可调。
2.3.2 溅射时间：1-1800s 可调。
2.3.3 镀膜厚度：1-1000nm可调，自动终止，检测精度0.1nm。
2.3.4 靶材直径：54mm，厚度最大1mm。
2.3.5 靶材相对样品台角度：25° 。
2.3.6 溅射用工作气体：氩气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.5 bar。
2.3.7 氩气接口：6mm（G1/8"）快插接口，使用聚酰胺软管连接。
2.3.8 氩气消耗：约18 sccm 。
2.3.9 破真空气体：氮气，纯度99.99%，减压阀输入压力：0.2-0.5bar。
2.3.10氮气接口：6mm（G1/8"）快插接口，使用聚酰胺软管连接。
2.3.11内置挡板，自动开启与关闭，用于预溅射时防止污染。
2.4、碳丝蒸发法
2.4.1 蒸发模式：脉冲式碳丝蒸发。
2.4.2 一次可安装4组碳丝，单根或双根，自动检测和切换碳丝。
2.4.3 镀膜厚度：1-100nm可调，自动终止，检测精度0.1nm 。
2.4.4 靶材相对样品台角度：25°。
2.4.5 碳丝蒸发功率：最大780W。
2.4.6 内置挡板，自动开启与关闭，用于除气时（degas）防止污染。
2.5、样品仓
2.5.1 方形金属样品仓。
2.5.2 玻璃单仓门，大面积观察窗。
2.5.3 样品仓内壁可拆卸。
2.5.4 样品仓尺寸：宽：200mm，深：150mm，高：195mm。
2.5.5 LED样品仓内部照明。
2.6、样品台
2.6.1 电动三向可调样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离。
2.6.2 旋转速度：5档可调，触屏控制，马达自动调节。
2.6.3 样品台角度：+/-60°可调，电动调节。
2.6.4 工作距离调节范围：30-100mm，电动调节。
2.6.5 样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台（12.7mm）。
2.7、QSG石英膜厚检测器
▲2.7.1 标配内置QSG石英膜厚检测器。
2.7.2 检测精度：0.1nm。
2.7.3 可设置镀膜厚度范围：离子溅射：1-1000nm，碳丝蒸发：1-100nm。
2.8、操作控制
2.8.1内置式彩色触摸屏控制。
2.8.2全自动，设定参数后，仪器自动抽真空，切换挡板，样品台旋转至指定速度，倾斜至指定角度，工作距离调节至指定高度，镀膜至指定厚度，放气。
2.9、辉光放电系统
▲2.9.1辉光放电电流设定范围8mA至12mA，连续可调。
2.9.2辉光放电时样品仓真空度设定范围1E-1mbr至5E-1mbr。
2.9.3辉光放电时时间设定范围5s至60s。
2.9.4辉光放电时样品工作距离设定范围40mm至75mm。
2.10、电气参数及环境要求
2.10.1 电压：100/115/230V（-10%/+15%），50/60Hz。
2.10.2功率：1000W以内。
2.10.3保险丝：230V，1A，115V，2A。
2.10.4 USB接口：U盘容量32GB以内。
2.10.5工作温度：15-30°C 。
2.10.6存储温度：5-40°C 。
2.10.7环境湿度：80%以内。
2.11、尺寸与重量
2.11.1主机：宽：～300mm，深：～540mm，高：～640mm。
2.11.2主机净重：～65kg。
2.11.3真空样品仓：宽：200mm，深：150mm，高：195mm。
3配置情况
镀膜仪主机，一套；
隔膜泵+涡轮分子泵（真空系统），一套；
油雾过滤器，一套；
真空连接管，一套；
用于溅射Pt靶材，DN 54x0.17mm以上,99.99%, 21.45 g/cm3，15套(国内采购)；
金钯，8020，16.7克立 方厘米，0.17毫米，99.99%，7套(国内采购)；
QSG石英膜厚检测器，一套；
Pirani真空计，一套；
冷阴极真空计，一套；
离子溅射系统，一套；
脉冲式碳丝蒸发系统，一套；
碳丝25m，4套；
扫描电样品托24孔样品台，两个；
辉光放电系统，一套；
方形金属样品仓，一个；
三向可调样品台：可旋转可倾斜，可调节工作距离样品台，一个；
隔膜泵垫片、视窗玻璃、快门各备一套；
陶瓷板备用一个；
LED防护玻璃 两套（含主机中一套）；
石英片两包（含主机中一套）；
防尘罩一个；
抛光液一份。
售后服务:质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:省内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:72小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;

详情请访问原网页！