“清华大学原子层沉积系统采购项目”项目（项目编号：清设招第2019011号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

一、项目信息

项目编号：清设招第2019011号

项目名称：清华大学原子层沉积系统采购项目

项目联系人：王慧

联系方式：62785713

二、采购单位信息

采购单位名称：清华大学

采购单位地址：北京市海淀区清华大学

采购单位联系方式：王慧62785713

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

用途和简要内容：基于一维和二维纳米材料的微纳米器件以及光电子器件等前沿课题的研究，主要用于制备超薄、厚度精确、均匀性好的硫化物和硒化物和金属氧化物薄膜材料。

3.1 一套真空加热腔体和可替换的两套不同材质的移动式内腔；Loadlock自动传输系统一套，含独立的进样、取样腔室，真空泵及机械手，具有自动传送整个移动式内腔的功能。

★3.2 具有6路源系统：包括2路液态前驱体源系统，2路鼓泡前驱体源系统，2路特气源（H₂S和H₂Se）输送系统。

3.3 防腐蚀、耐高温的真空抽气系统1套（含高性能防腐真空泵）。

3.4 控制系统1套；PLC+工控机+触摸屏及相应的操作系统软件，具有沉积自动控制功能与联动互锁保护功能。

3.5 安全系统1套：包括紧急停止开关（EMO）、安全互锁功能和安全排气必备组件等。

3.6 设备经常更换的备件及耗材一套，维修和操作工具（含专用工具）一套。

3.7 其他备件及耗材：胺基钼10克、六羰基钼30克、四二甲氨基锡30克、三甲基铝30克，鼓泡瓶一套，直通源瓶一套，水源瓶一套。

四、中标信息

招标公告日期：2019年03月07日

中标日期：2019年03月28日

总中标金额：114.5 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

中 标 人：嘉兴科民电子设备技术有限公司

地 址：浙江省嘉兴市南湖区亚太路778号（嘉兴科技城）9号楼303室

中标金额：114.5万元人民币

本项目招标代理费总金额： 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

评标委员会成员名单：

评标委员会名单：杨海方、褚卫国、刘建设、魏洋（前述专家均为自选专家）、李群庆

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

标的名称：原子层沉积系统

规格型号：TALD-100RD

数量：1套

单价:114.5万/套

质保期：验收合格之日起1年

五、其它补充事宜