高真空有机金属蒸发镀膜机（XF-WSBX-2400106）采购公告
发布时间：2024-04-30 09:22:56阅读量：13 次

项目名称	高真空有机金属蒸发镀膜机	项目编号	XF-WSBX-2400106
公告开始日期	2024-04-30 09:22:56	公告截止日期	2024-05-08 11:00:00
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	成交后在我参与的项目中查看	联系电话	成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后30个工作日内	到货时间要求	成交后30个工作日内
预算总价	￥ 325,000.00 + + 未公布
收货地址	浙江大学紫金港校区和同苑9幢1009
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
高真空有机金属蒸发镀膜机	1	台	真空应用设备 无 无

品牌 品牌1	泰克诺
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
预算单价	￥ 325,000.00
技术参数及配置要求	1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门和后门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为常闭门，便于设备清理维护；特点：镀膜设备与手套箱复合一体式设计，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； 2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计； 3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；设备升压率≤0.8Pa/h; 4.水冷式基片台：抽屉式结构，承载最大小于120×120mm 基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20 转/分钟可调；蒸发源到样品可调节距离：70mm；蒸发源与基片距离约260-330mm；基片台间接水冷。 5.金属源：水冷铜电极3组；蒸发电源:功率 1500W，1台（可实现1拖2）；进口日本TDK； 6.有机源：束源式控温有机蒸发源（最高温度600°），3 组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：3套（独立PID 智能温控蒸发）；采用日本TDK 蒸发电源Z+20-10；配4组气动挡板及源间防污隔板； 7.膜厚控制系统：Inficon进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚，型号SQC-310，双探头； 8.控制方式：采用 PLC+液晶屏+工控机全自动控制； 9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 10.配备有循环水冷机及空气压缩机，各1台；
售后服务	服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学
2024-04-30 09:22:56

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