成交信息

成交供应商：厦门韫茂科技有限公司

成交金额：760000.0

选标理由：符合要求，价格最低

项目名称：公斤级粉体原子层沉积（ALD）

项目编号：A-WZBX0236

公告开始日期：2022-06-29

公告截止日期：2022-07-06

采购单位：化学化工学院

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到货时间要求：

预算总价：760000元

收货地址：厦门大学化学楼横楼16

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品：公斤级粉体原子层沉积（ALD）

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：

预算单价：760000.0

技术参数及配置要求：1、不锈钢304真空反应腔体，全对称加热器，最高温度300°C，温度均一性＜3%； 2、100Torr/1000torr薄膜规各一套，实时监控工艺真空度，极限压力 <50m Torr； 3、样品桶可旋转，转速0-60RPM可调； 4、自动控制加热，阀门和线路温度范围：环境温度~200°C；尾气管路温度范围：环境温度~150°C； 5、配置防腐油泵，抽速≥15m3/hr，尾气过滤包括泵前级过滤，2个专用两级ALD尾气过滤系统； 6、配备5路固体液体源，2路反应气体气路，包括1路吹扫气体，1路载气气路，全部配置MFC气体流量计； 7、配置臭氧发生器, 集成最高浓度10%臭氧发生器及消除器1套； 8、集成单工位手套箱1套，水含量≤1ppm, 氧含量≤1ppm; 9、随机配备样品桶容量2个，极片架1个，常温双管源瓶500 ml，1个，可加热双管源瓶500 ml，4个，全自动控温：室温~200°C，15寸国际品牌触摸屏。 10、软件控制系统包括所有工艺菜单，工艺过程参数，报警，设备运行的实时日志数据，数据为可下载的 CSV 格式，500GB 存储大小，USB 兼容，具备温度，压力，气体流量，源互锁，上下样，电气和气动控制异常报警。

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