广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

招标

金额

2765万元

项目地址

广东省

发布时间

2024/06/04

公告摘要

项目编号-

预算金额2765万元

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年06月至2024年07月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	金属有机物化学气相外延设备	标的名称：金属有机物化学气相外延设备标的数量：1 主要功能或目标：用于生长GaN/AlGaN材料，每炉生长5片8英寸外延片的能力，具有气体快速切换能力和高度均匀生长能力，具有原位生长监控能力，具有机械手全自动Cassette传盘系统，可快速安全换源需满足的要求：行星式结构，行星盘purge气体为N2或Ar，单次一炉可放8英寸衬底5片，反应室加热方式为射频加热，可实现表面最高加热温度不低于1200°C，在1000-1150°C温度区间内，控温精度优于正负1°C。手套箱N2气氛保护，含再生系统，手套箱内部压力可调，并含过压保护。带有氯气原位自清洁工艺。含机械手传盘系统，传盘温度可控可调，最大可600℃传盘。	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	27,650,000.00	2024年07月