广西大学 - 竞价公告 (CB105932024000484)
发布时间：2024-11-09 16:43:26 截止时间：2024-11-14 17:00:00
基本信息：
申购主题：膜厚监控仪（带可调膜厚仪探头）
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：23000 人民币

收货地址：广西壮族自治区/南宁市/西乡塘区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

膜厚监控仪（带可调膜厚仪探头）

1(套)

23000

泰科诺-FTM107-A-馈通法兰M25

FTM107-A-馈通法兰M25

可实现与高真空电阻蒸发镀膜设备(型号ZHD300)的匹配，实现蒸发材料的膜厚和速率的高分辨率监控。具体要求如下： 1.采用石英晶振膜厚监控仪，在线实时监测蒸发速率，监控膜厚；水冷探头位于基片台附近；2. 膜厚监控显示蒸发速率精度可达±0.1A（0.01nm），厚度精度可达±1A（0.1nm）； 工作时，若镀膜达到设置厚度，可自动切断蒸发电源，停止镀膜，实现自控膜厚之目的 ★3. 能够匹配设备型号为ZHD300的高真空电阻蒸发镀膜机。 4．具体参数： 晶振频率：6 MHz(可选2.5 M3M 5M 9M晶体) 显示方式：5”彩色触屏+数码管显示速率和实厚、 操作方式：触摸屏 厚度显示范围：0-99μ9999Å 厚度实际分辨率：0.1 Å 厚度显示分辨率：1 Å 速率范围：0-999.9Å 速率显示分辨率：0.1Å/s 镀膜层数：99层 探头输入：4路 工作因子：0.01-99.99 材料存储: 257+自定义10种 通 讯: RS232/RS485 挡板/源控制: 2组触点，到达厚度关挡板/蒸发源 镀膜显示: 速率曲线/数值

1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务；

膜厚监控仪-竞价.docx