离子束刻蚀机(XJ023022000204)

公告摘要

项目编号-

预算金额-

招标公司北方夜视技术股份有限公司

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间2023/02/25

公告正文

基本信息

发布单位:北方夜视技术股份有限公司

最终单位:北方夜视技术股份有限公司

参与方式:公开询价

出价方式:一次性出价

付款方式:

保证金:500.0元

联系人:闵

联系方式:17312230135

刻蚀.pdf 刻蚀.pdf

采购明细

序号	商品名称	品类	采购数量	最少响应量
1	离子束刻蚀机	固定资产投资项目>货物类	1.0台	1.0台

可报价时间

开始时间 2023-02-22 17:51:00

结束时间 2023-02-25 17:51:00

报价地址： https://newtd.norincogroup-ebuy.com/inquiryweb/index

离子束刻蚀机技术要求

1.设备技术性能要求

1.1离子源口径：200mm，以阳极筒内径标定；

1.2离子能量可调范围：0～1000eV；

1.3离子束流可调范围：0～200mA；离子能量和束流可实现自动匹配

1.4离子束有效束径；≥150mm；150mm范围内均匀性≤±5%；

1.5水冷样品台，样品台尺寸：180mm；

1.6样品台0°～180°角度任意可调；

1.7样品台可自转，转速：0~20rpm可调

1.8系统从10Pa抽至5×10Pa周期：川30min;

1.9循环水冷控温系统：冷却水温度5℃~25℃可调；

2.设备主要组成

序号	名称	型号规格及主要要求	数量
1	真空室系统	不锈钢箱体、离子源水冷系列、视窗铰链等	1套
2	工件台	台面直径：180mm；刻蚀角范围：0~180°；自转速度：0-20rpm；台面温度：5~25℃	1个
3	电气挡板主阀	通导：W1000L/s	1个
4	电气动上管道阀	口径：40mm/KF（可反顶大气）；漏率：<1.3×10Pa·L/s	1个
5	电气动下管道阀	口径：40mm/KF（可反顶大气）；漏率：<1.3×10Pa·L/s	1个
6	放气阀	口径Φ6mm	1个
7	气路截止阀	漏率：＜1.3×10‘Pa·L/s	1个
8	质量流量控制器	流量控制范围：0~20sccm；流量控制准确度：±2%（F.S.）；流量控制重复精度：±0.2%（F.S.）	1个
9	真空计	量程：1×10Pa~1×10＇Pa	2个
10	电离规	量程：1×10＇Pa~1×10Pa	1个
11	前级机械泵	最高抽速40m/h	1个
12	高真空分子泵	最高抽速1200L/s	1个
13	冷水机	水温控制精度：±1℃	2个
14	考夫曼离子源	离子源口径：200mm	1个
15	离子源电源	阴极、阳极、屏栅、加速栅、中和及耦合六电源构成组合电源系统及控制系统	1套
16	耗材	硅脂、灯丝、离子源定位针、离子源拆装工具等	1套

3.验收标准

3.1主要验收项目技术指标

验收检测项目	验收检测项目	技术指标要求
系统极限压强	系统极限压强	≤8.5x10Pa（室内温度≤25℃）
从10Pa抽至工作本底压强川5×10Pa时间	从10Pa抽至工作本底压强川5×10Pa时间	≤30分钟（室内温度≤25℃，相对湿度≤40%）
Ar离子能量可调范围	Ar离子能量可调范围	0~1000eV
Ar离子束流峰值	Ar离子束流峰值	W300mA
离子能量和离子束流稳定度	离子能量和离子束流稳定度	≤±2%/h，E=500eVI=180mA
Ar离子束有效束径	Ar离子束有效束径	≥150mm
	旋转速率	0～20rpm（自动调节）
刻蚀工作台	台面直径	180mm
刻蚀工作台	台板冷却温度	5℃~25℃
刻蚀工作台	倾角调整范围	0°～180°（自动调节）

3.2系统备品备件

（1）产品使用说明书、7501硅脂、平面抛光机、离子源拆装工具各一套；

（2）灯丝10套；离子源定位针6只。

4.其他条件

4.1合同签订4个月内，乙方完成交货。

4.2乙方提供设备调试、试运行和客户培训。

4.3验收试验成功后，双方需签署验收证明。

5.技术文件

5.1设备交付后，卖方须提供超净室使用的设备安装知道文件、设备操作说明、设备维护及

故障排除说明等文件。

5.2以上文件需分别提供纸质文件一份和电子版文件一份。

6．技术服务

6.1设备到达用户所在地后，卖方在接受到用户通知后1周内安排调试工程师执行设备的

安装与调试。

6.2设备的安装调试，验收与培训：在用户具备安装条件后，设备安装调试和验收时间不

多于1周，用户或第三方样品测试原因引起的延误除外。设备调试期间，用户现场的培

训时间不少于1个工作日，培训时间按照客户学会的时间为准。

6.3在用户所在地对用户进行免费培训。培训内容包括设备的技术原理、各种典型工艺实

验、安全措施、一般故障判断及设备日常维护保养等。

6.4设备质量担保期：保修期自验收合格签字之日起12个月。

6.5维修响应时间：卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应。一般问题需一周解决，

重大问题或其他无法迅速解决的问题应在2周内提出明确的解决方案并尽快解决。保修

期内，若设备出现任何问题，维修及更换配件，使设备达到可以正常使用的状态，产生

的所有费用均由乙方承担。

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