江苏大学 - 竞价公告 (CB102992023000171)
发布时间：2023-06-09 08:49:06 截止时间：2023-06-12 08:58:16
基本信息：
申购主题：小型直流磁控等离子镀膜仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：50,000.00 人民币

收货地址：江苏省/镇江市/京口区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/计量单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

小型直流磁控等离子镀膜仪

1/套

50000

合肥科晶

VTC-16SM

1、输入电源：220V 2、溅射电流：0-150mA可调 3、功率：＜2KW 4、输出电压：最大1600VDC 5、溅射腔体：采用石英腔体，尺寸：166*150mm，高度290mm，密封：采用O形密封圈密封。 6、采用2英寸带水冷的磁控溅射头，一个直径50mm不锈钢样品台，样品台可旋转，旋转速率0-5RPM 7、安装有一可手动操作的溅射挡板，样品台和靶头之间的距离可调节，调节范围：30-80mm。 8、最大溅射面积：4英寸 9、控制面板:6英寸PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度。 10、设备配置：磁控等离子镀膜仪主机一台，真空油泵VRD-8一台，水冷机CW-5000一台，波纹管KF25*1200一根，挡板阀KF25一个，卡箍KF25两个

按行业标准提供服务，整机质保一年，送货上楼，上门培训至可以独立使用为止，培训人员不限。