招标
磁控溅射靶枪购置项目（TGU-EBUY20240027）采购公告
金额
-
项目地址
天津市
发布时间
2024/07/15
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 磁控溅射靶枪购置项目 | 项目编号 | TGU-EBUY20240027 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-07-15 08:14:04 | 公告截止日期 | 2024-07-17 09:00:00 |
| 采购单位 | 天津工业大学 | 付款方式 | |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后5个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后90个工作日内 |
| 预算总价 | NaN + NaN + NaN 未公布 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 天津工业大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射靶枪 | 3 | 台 | 其他不另分类的物品 无 无 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ NaN |
| 技术参数及配置要求 | 1、靶枪需满足10^-7Pa真空环境，金属密封，含配套CF法兰； 2、2英寸阴极靶枪，表面均匀布气； 3、可弯折，0-60度可调； 4、备用强磁组件1套； 5、防交叉污染，带密封挡板； 6、支持水冷； 7、薄膜（SiO2薄膜）片内及片间沉积不均匀性优于±2% @ 4英寸硅片； 8、薄膜粗糙度：沉积CoFe薄膜10 nm厚度， 粗糙度优于0.2 nm； 9、价格包含靶枪上门安装调试费用、后期靶枪根据镀膜工艺要求结构改进费用，靶枪安装调试合格后一次性付清。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 1. 到货：签订合同之日起100天内；2. 安装（施工）完成：货到之日起7天内；3. 质保：36个月； 4. 含关税的进口设备。 |
2024-07-15 08:14:04
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