中山大学先进能源学院多靶磁控溅射镀膜系统采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]1294号
项目名称	中山大学先进能源学院多靶磁控溅射镀膜系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	多靶磁控溅射镀膜系统	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-11-22 21:59	采购结束时间	2022-11-28 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后45天交货	经办人	刘老师	经办人电话	020-84115080
送货地址	广东省深圳市光明区公常路66号中山大学工学园1栋4楼
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由乙方支付。报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
多靶磁控溅射镀膜系统	1台		详情请进入系统查看
"多靶磁控溅射镀膜系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 1.磁控溅射源：1）非平衡磁场圆形平面永磁靶；2）直流、中频、射频兼容；3）靶内水冷，冷却水与永磁体非接触式；4）靶头可于真空状态下实时伸缩调节，调节范围大于等于80mm，并可摆动，摆动角度范围大于等于45°；5）靶头附带挡板，可于真空状态下实时控制；6）适用靶材尺寸大于等于2英寸；7）数量大于等于3组，并另备至少1组靶头安装接口；8）溅射源功率密度不小于6W/c㎡。 非常重要 是 2 2.温控样品台：1）适用样品尺寸大于等于4英寸，并附带样品拖，可安装多个小尺寸独立样品；2）绕中心自转式样品台，自转速率0-20r/min可调，磁流体密封；3）样品台可温控加热，加热方式：光照直射样品加热；4）样品台可加0-1500v负偏压；5）样品台附带挡板，可于真空状态下实时控制。 重要 否 3 3.真空腔体：1）方形真空腔体，内边长均不小于400mm；2）优质304不锈钢材质；3）密封焊均内焊，漏率＜1×10-8atm.cc./sec(He)；4）焊后处理：内外机械抛光+电解抛光；5）前开式快开门，胶圈密封；6）除此之外均为无氧铜垫密封；7）附带易拆装式腔内衬板2套；8）附带膜厚检测仪等备用接口。 非常重要 是 4 4.真空获得及测量系统：1）双级旋片真空泵，抽速不小于12L/s；2）磁悬浮分子泵，抽速不低于1300L/s；3）复合真空计，包括2个电阻规，1个电离规；4）附带旁抽管道及维持泵，维持泵抽速不小于4L/s。 非常重要 是 5 5.进气控制系统：1）真空腔内均布气道，需附空气动力学模拟结果；2）进气气路与真空腔体采用角阀隔绝；3）进气前需通过混气罐均匀混气；4）配置数字式高精度气体质量流量计3路，分别为氩气0-200sccm，氮气0-20sccm，氧气0-20sccm；5）气体质量流量计前端配流量阀、减压阀；6）进气气路采用全不锈钢316L，直连气瓶。 重要 否 6 6.循环冷却水：1）制冷功率≥2kw；2）冷水机出水、回水配阀门；3）配分水排，水流量监测保护或报警。 重要 否 7 7.工控软件：1）配工控计算机，实现仪器的监测及控制；2）工控软件编写采用Labview/C++/PLC。 重要 否 8 8.系统机台：1）全铝合金材质；2）可整机固定及移动。 重要 否 9 ★9.整机系统表现：系统背景真空半小时内≤2×10-4Pa，不烘烤极限真空≤7×10-6Pa。 重要 是 10 10.整机系统表现：真空腔体保压≥12小时，压强小于10Pa。 重要 否 11 11.整机系统表现：多个溅射源共同工作时需能保证无干扰共点沉积。 重要 否 12 12.售后服务及培训要求：售后电话响应时间为24 小时之内，现场响应时间为48小时。培训要求：安装调试后，中标人应做一次不少于3天的培训，直至设备使用人员学会使用为止，培训人数原则上不限定。 重要 否

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