采购结果详细（202300116622）---- 中山大学

申购单主题：	前驱体源循环系统	申购单位：	材料科学与工程学院
申购备注：

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
前驱体源循环系统			北加州电子	NCD311	1	国内含税价/人民币
售后服务	1.确保为原厂原装全新机，设备免费质保一年； 2.无论质保期内外，如出现故障，要求2小时内响应，如远程无法解决，48小时内上门。 3.无论设备有无质量问题，每年安排一次现场回访
规格	主要用途：拟采购的前驱体源循环系统主要用于钙钛矿太阳能电池研究，用于TDMASn、TMA等前驱体源的循环，用于制备相关膜层，要求制备的薄膜具有良好的致密性和均匀性。 产品性能：具有供应前驱体源和循环能力，控制系统可以集成到实验室现有的基于windows的触摸屏控制软件上，以现有控制软件直接控制整个系统。 主机配置：加热液态前驱体源3路，配置高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃ 常温源1路，配置快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶； 臭氧系统1路，含臭氧发生器、调节阀。 载气系统两路，全套swagelok管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能； 高性能真空系统，整机极限真空＜5×10-2Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S; 配置机械泵，额定抽速≥60m³/h,泵前级配置吸附阱； 膜厚均匀性测量指标：在8英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化锡，以晶圆上至少 9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1.5%为合格；
中标供应商			单价		初选理由
广东途胜科技有限公司			165000		最低价原则