一、项目信息

采购人：复旦大学义乌研究院

项目名称：复旦大学义乌研究院新材料新器件新装备高精尖缺制造中心沉积系统采购

拟采购的货物或服务的说明： 标项名称：Parylene沉积系统 数量：1 预算金额（元）：484000.00（含进口关税及增值税） 单位：套 备注：

拟采购的货物或服务的预算总金额（元）：484000.00（含进口关税及增值税）

1、Parylene聚合物薄膜以其优异的电特性，物理特性，化学隔离特性及生物相容性，目前被广泛地应用在绝缘防护，化学及水汽隔离，化合物半导体，MEMS传感器，微流控及生物医疗人工植入，柔性可穿戴电子等研究及生产领域。而Parylene薄膜沉积（镀膜）系统则是实现这一应用的必须工具。其也在生产、科研及高校很多国家重点实验室及研究项目中所采用。义乌研究院新材料平台的柔性电子器件与电极阵列项目需要此设备。

2、市面上科研用Paralyne设备有若干家，其他品牌的设备大部分为工业生产所用，运行时维护费用昂贵，操作较为复杂，不能满足实验室科研项目的高精度薄膜沉积的需求。 PDS2010Labcoater2是专门为实验室开发的一款设备，该真空沉积系统为Parylene镀膜提供了可靠的和可重复的应用。其主要技术优势在于：（1）沉积过程采用压力闭环控制，及提供设定沉积压力，自动控制Parylene蒸发温度及材料的蒸发速率，使沉积腔中的Parylene单体浓度始终保持恒定大大提高的镀膜的质量及重复性。而市场上其它设备大都采用温度控制，即设定蒸发温度阶梯而不知压力，因此会造成沉积腔内气体浓度的波动较大。同时如果更换不同的品牌和型号的原料，那么蒸发温度与沉积压力的对应关系就改变了，那么沉积的厚度和质量可能就会发生变化；（2）主要硬件均采用世界知名品牌的产品，因此保证了设备长期运行的可靠性，目前在国内大学第一台设备（北大微电子研究所）现在已经有15年了，还在正常使用。压力闭环控制使设备操作变得非常简单和不需要大量的经验积累，可靠的硬件使设备可以应付各种操作者及长期的使用，这二点优势除了有益于研究应用外还特别适合高校实验室操作人员变更频繁

且不具备设备专业操作经验的学生使用。

基于以上科研相关技术原因，北京三吉世纪科技有限公司是PDS2010Labcoater2产品国内唯一的代理服务机构，因此导致只能从某一特定供应商处采购，建议本项目采用单一来源采购方式采购，拟定供应商为北京三吉世纪科技有限公司。

二、拟定供应商信息

名称：北京三吉世纪科技有限公司

地址：北京经济技术开发区经海四路156号经海产业园

三、公示期限

2022年3月2日至2022年3月8日

四、其他补充事宜

1.本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。 2./

五、联系方式

1.采购人信息

名 称：复旦大学义乌研究院

联 系 人：周工

联系电话：0579-85507181