采购结果详细（202300106173）---- 中山大学

申购单主题：	匀胶机	申购单位：	微电子科学与技术学院
申购备注：

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
匀胶机			LEBO Science	EZ6-S	2	国内含税价/人民币
售后服务	根据行业标准提供售后服务。
规格	1.主机参数： 1.1转速范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm； 1.2加速度可调范围：100-30000rpm/s，最大单步时长：3000S； 1.3时间分辨率：0.1s，旋涂均匀性：＜±3%； 1.4旋涂最大尺寸为6英寸圆片；单步或多步运行可选，可编程10组10步程序；配置10mm、25mm、2英寸真空载物盘；配备无油真空泵。 2.共配备一台PT500真空等离子清洗机 2.1腔体材质：铝合金，供电电源：AC220V，射频电源功率：0-500W 可调，射频功率：25KHz，真空度：≤100Pa； 2.2气体路数：单路，气体流量：0.1-1l/min（可调），清洗时间：0-999秒连续可调，内腔尺寸：Φ147mm*145mm，配置真空泵。 3.共配置一台HP100-SE标准型程控烤胶机 3.1加热面板尺寸：220mm*220mm方形，电源输入：220V，1000W； 3.2控温范围：室温-300℃，温度分辨率：0.1℃，控温精度：±0.2℃，温度均匀性：200℃以下≤1%，200℃~300℃≤1.5%； 3.3电动顶针调节高度：0-30mm，顶针高度分辨率：0.1mm；可存储100组烤胶配方，每个配方可设置5个加热阶段，顶针可使用底物直径大于40mm晶圆。
中标供应商			单价		初选理由
广州海方仪器有限公司			59600		最低价原则