项目名称：北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目 招标项目编号：1495-244thhrlab12 招标范围：N型碳化硅外延炉是一种通过化学气相沉积（CVD）方法生长碳化硅外延层的设备，该设备气流进气方向与晶圆表 面垂直，兼容6/8英寸衬底，单次生长最大厚度≥100微米，且满足片内厚度不均匀性小于2%，片内掺杂浓度不均匀性小于5%, 表面致命缺陷密度小于0.5cm^-2的技术指标。 招标机构：天恒招标有限公司 招标人：北京怀柔实验室 开标时间：2024-12-11 09:30 公示开始时间：2024-12-16 13:36 评标公示截止时间：2024-12-19 23:59 中标候选人名单：

候 选 人 排 名	投标商名称	制造商	制造商国别及地 区
1	NuFlare Technol ogy, Inc.	NuFlare Technol ogy, Inc.	日本