“一批多温区等离子体增强化学气相沉积系统拆装搬迁调试与 维护”项目单一来源采购公示 一、 项目概况 多温区等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)是一种用于制 备二维半导体材料的专用设备，涉及多路气体、高低真空、高温加 热、等离子体产生等多方面的精确控制，具有较高的技术要求。 二、项目内容

申请单位	集成电路学院
项目名称	一批多温区等离子体增强化学气相沉积系统拆装搬 迁调试与维护
项目内容	为一批多温区等离子体增强化学气相沉积系统拆装 搬迁调试与维护
拟定供应 商(名称、地址)	安徽贝意克设备技术有限公司 安徽省合肥市高新区将军岭路合肥创新产业园三期 A1 栋 8021 室
参考报价	194000 元
单一来源 采购理由	多该批多温区等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）是贵重仪器，型号为：PECVD-BTF-1200C-III-500A 等，本次搬迁涉及多批该设备，由安徽贝

	意克设备技术有限公司生产，现从江南大学先进技 术研究院搬至江阴校区集成电路学院，需要原厂技 术人员对上述系统进行拆装搬迁调试与维护，对 PECVD 的加热炉膛和热偶﹑MFC 气路连接﹑PECVD 的 射频电源﹑无油机械泵等进行维护保养，为了保证 系统的稳定性和高效运行，上述工作需由安徽贝意 克设备技术有限公司的原厂技术人员完成。
论证专家	姓 名	职 称	工作单位
	王霄	副教授	集成电路学院
	李杨	副教授	集成电路学院
	吴琼	副教授	物联网工程学院
备注

三、公示期为：2024.7.16—2024.7.23 提示：任何单位、组织或个人对本项目采用单一来源方式如有 异议，请在公示截止日期之前以书面的形式反馈我单位，非常感谢 您的参与。 联系电话：0510-85913566 电子邮箱：cgzbzy@jiangnan.edu.cn 江南大学采购与招标管理办公室 2024 年 7 月 16 日