一、采购人名称：杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院
二、进口产品公示编号：/
三、采购项目名称：聚焦离子束扫描电子显微镜
四、采购组织类型：/
五、采购项目概况：
标的名称：聚焦离子束扫描电子显微镜
预算金额(元)：12000000
货物或服务的说明:详见附件
六、符合上述采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：/
七、申请理由：
离子束显微镜属于高精尖的显微成像和微观加工设备，对产品制造商的生产工艺和加工精度有严格的要求。
目前国内产品的电子束系统分辨率为1.2nm@15kV,离子束系统的分辨率为3nm@30kV，无其他重要参数公布。
在芯片器件研究方面，进口设备可以进行高分辨观察，并且电子束系统分辨率最高可以优于0.9nm@15kV，最大束流强度优于20nA，束流稳定性优于0.2%/h，抗噪声性能优于 1%/h；离子源寿命不小于 3000μAh；在加工方面，进口设备可以搭载离子束镜筒，对器件等样品进行100um尺度的截面切割和微纳加工,还可通过搭配纳米机械手进行透射样品制备；离子束显微镜还可以搭载进口的能谱仪，实现对样品微区的元素分析，也可以通过搭载飞秒激光系统，将加工尺度提升到毫米级别以上，对大尺寸的器件结构和深埋结构的切割分析有重要意义。
综述所述，国内产品电子束分辨率、以及选配功能无法满足目前实验室的科研需求。
（一）拟采购的进口设备符合《政府采购进口产品管理办法》（财库【2007】119号）第三条以及《关于政府采购进口产品管理有关问题的通知》（财办库【2008】248号）二、三的认定情形。
（二）该设备未列入商务部《限制进口机电产品目录》和《中国禁止进口限制进口技术目录》。
（三）根据市场调研，国内产品的性能与进口产品存在一定的差距，并且国内产品性能稳定性仍有待市场检验，不满足采购单位的需要。该设备属于国家的非限制进口仪器设备，符合国家相关进口产品的法律规定，建议该项目采购进口设备。
八、论证专业人员信息及意见：详见附件
九、其它事项：
1、本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采购进口产品及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第4个工作日），以书面形式向采购人提出异议。
十、联系方式：
采购人名称：杭州极弱磁场国家重大科技基础设施研究院
联系人：方键威
联系电话：15068185645
附件信息:
进口论证-聚焦离子束扫描电子显微镜.pdf
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