纳米气动薄膜沉积系统
项目所在采购意向：	广西科技大学汽车产业学科群教学科研仪器设备更新项目2024年12月3政府采购意向
采购单位：	广西科技大学
采购项目名称：	纳米气动薄膜沉积系统
预算金额：	51.200000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	沉积颗粒指标 正常颗粒大小：0-20nm； 颗粒种类：金属，导电化合物，金属氧化物，碳材料 靶材指标：99.9% 靶材规格：3-6mm圆柱体棒状，可空心功能配件指标 配件种类：低负载率的单颗粒沉积，多孔材料的高覆盖率过滤沉积。 配件功能要求：适用于透射铜网，原位透射芯片及纤维样品。 适配尺寸：47mm（纤维），10mm（硅片），500mg（粉末）操作窗口指标 载气流速：1-15L/min。对粉末材料1-5L/min 载气种类：支持惰性气体如氩气或氮气，以及空气及氢气等活性气体 接口尺寸：KF25法兰
预计采购时间：	2025-02
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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