800G接收端202302多项目晶圆有源流片服务（ZJLAB-FS-DY2023005）单一来源公示

中标

800G接收端晶圆有源流片服务 TiN热电极探测器 PDK MPW流片与测试光接收端 AMF 有源/无源器件密集波分复用器件

金额

项目地址

浙江省

发布时间

2023/02/06

公告摘要

项目编号zjlab-fs-dy2023005

预算金额-

招标公司之江实验室

招标联系人沈老师

中标公司-

中标联系人-

公告正文

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800G接收端202302多项目晶圆有源流片服务（ZJLAB-FS-

DY2023005）单一来源公示

公示简要说明：之江实验室拟针对800G接收端202302多项目晶圆有源流片服

务进行单一来源采购，具体如下。

一、采购人名称：之江实验室

二、采购项目编号：ZJLAB-FS-DY2023005

三、采购项目名称：800G接收端202302多项目晶圆有源流片服务

四、采购项目概况：

序号

名称

单位

数量

预算单价（元）

简要规格描述

标准无源工艺：含

70nm、60nm、90nm三次硅刻蚀

工艺；制作TiN热电极标准有

源工艺：6种硅波导掺杂工

艺、金属电极工艺、高速Ge/Si

800G接收端202302多项目

1项1450000.0探测器工艺提供高性能PDK：

晶圆有源流片服务

提供稳定、损耗较低的PDK:

SSC：在O波段损耗＜2dB；高

速锗硅探测器：带宽＞26GHz，

响应度＞0.8A/W最小线宽/线

距：140nm/140nm

五、拟采用的采购方式：单一来源

六、申请理由：本次MPW流片用于验证800G光接收端芯片可行性，根据项目及

设计需求，流片工艺需满足140nm线宽线距的硅基有源/无源器件工艺，并提供

高性能PDK。项目组调研了IMEC、AMF、CompoundTek、CUMEC等四家国内外主

流的MPW流片厂商，其中IMEC不提供高速器件PDK，且前期未进行流片，性能

未得到数据验证。此外，CompoundTek线距不满足140nm需求，CUMEC现有PDK

无法提供双层金属工艺，且探测器带宽小于28GHz，无法满足项目需求。本项

目前期已在AMF进行过完整的有源/无源器件的MPW流片与测试，有源工艺达到

项目指标。提供的工艺满足本项目140nm线宽/线距定制工艺和双层金属工艺，

系统插损≤14dB，密集波分复用器件精度达到项目需求，Ge探测器带宽

≥28GHz的要求。综上，AMF是本项目目前唯一符合需求的供应商。

七、拟定供应商：

拟定唯一供应商名称：AdvancedMicroFoundryPteLtd

八、其它事项：

本项目公告期限为3个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及

其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日

后的第4个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

九、联系方式

采购人名称：之江实验室

联系人：沈老师

联系电话：18767134700

地址：杭州市文一西路1818号之江实验室

之江实验室

2023-02-06

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