中标
有机-氧化物热蒸发真空沉积系统
金额
20.2万元
项目地址
江苏省
发布时间
2021/06/29
公告摘要
项目编号cb102992021000492
预算金额-
招标公司江苏大学
招标联系人-
中标公司沈阳硕科科技有限公司20.2万元
中标联系人-
公告正文
有机-氧化物热蒸发真空沉积系统
申购单号:CB102992021000492 成交总额:******
申购主题:有机-氧化物热蒸发真空沉积系统 送货时间:合同签订后30天内送达
采购单位:江苏大学 安装要求:免费上门安装(含材料费)
竞价开始时间:2021-06-25 15:17:36 收货地址:******
竞价截至时间:2021-06-29 00:00:00
币种:人民币
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:进口设备请务必填写原产地,否则视为无效报价。
质疑说明:如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果:
采购项:有机-氧化物热蒸发真空沉积系统 数量:1.0台
品牌: 沈阳硕科科技 型号: 无
单项预算:0.00 成交总价:202000.00
成交单价:202000.00 成交供应商:沈阳硕科科技有限公司
质保及售后服务: 按行业标准提供服务
技术参数: 1.1、基片尺寸:156X156mm(根据用户要求设计); 1.2、基片旋转:自转速度0~10转/分,在线可控可调; 1.3、基片升降:蒸镀距离200mm~300mm可调(可根据用户要求设计);以便寻找最佳实验参数; 2、蒸发源及电源: 2.1、蒸发源:蒸发源(金属舟状)1套;金属蒸发源电源1套; 有机蒸发源3套;(加热温度:室温~500℃可调可控); 有机蒸发电源1套; 蒸发源均配置挡板,防止互相污染; 3、镀膜室极限真空:(设备具有一件抽真空功能)(设备可对接手套箱) 3.1、真空腔体用优质304不锈钢(前开门),表面电解处理;预留CF35刀口法兰2套用于将来设备扩展; 3.2、极限真空:5×10-5Pa; 3.3、工作真空:7×10-4Pa; 3.4、恢复工作真空时间:≤35分钟左右(新设备充干氮气); 3.5、漏率:关机12小时真空度≤10Pa; 4、膜厚监测: 4.1、配备膜厚监测仪; 4.2、配备1支水冷膜厚探头; 5、设备保护系统:系统有自动监控和保护功能强,包括真空检测、缺水欠压检测与保护、相序检测与保护; 主要配置单 600L/S分子泵 1台 机械泵1台 高真空压差式带充气电磁阀 (机械泵用)1台 电磁高真空挡板角阀(分子泵用)1台 CF-150高真空插板阀1台 旁抽角阀1台 微机型复合真空计 5227 1台 真空不锈钢腔体1套 金属蒸发源1套 有机蒸发源3套 基片台1台 蒸发源挡板2台 观察窗及挡板1台 金属蒸发电源1台 有机蒸发电源1台; 膜厚监测仪及探头1套 照明烘烤电源1台 系统总控电源:PLC+人机界面及程序,设备保护系统,样品台控制; 主机工作台1台 气泵及水冷机1台
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