微波等离子体化学气相沉积系统采购意向公告

招标

金额

135万元

项目地址

北京市

发布时间

2025/01/16

公告摘要

项目编号-

预算金额135万元

招标公司-

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

为便于供应商了解采购信息，根据《物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定，现将微波等离子体化学气相沉积系统的采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	需求概况	初步技术参数	预算金额(万元)	预计采购时间	备注
1	微波等离子体化学气相沉积系统	采购内容：微波等离子体化学气相沉积系统。采购数量：1套主要功能或目标：微波等离子体化学气相沉积设备主要用于制备金刚石材料。需满足的要求：合同签订生效后3个月内交货并安装调试完毕；如需要办理进口免税，收到外贸信用证后3个月内交货并安装调试完毕。	（1）微波源输入功率：覆盖0.6~6kW连续可调，程序可控；（2）微波频率：2450±50MHz；（3）有效沉积区域：≥Φ50mm；（4）压强控制范围：覆盖0.5~30kPa，程序可控；（5）温度控制范围：覆盖700~1400℃；（6）真空系统: 极限真空度优于1Pa；（7）自动控制能力：可按照设定的压强梯度、功率梯度、真空控制、气体控制等自动完成工艺流程；（8）气路系统：气路不少于四路，流速可控；（9）安全措施：具备系统监测和报警功能和自动切断加热功能。	135.00	2025年03月	无