中山大学材料学院全自动薄膜沉积系统采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2023]038号
项目名称	中山大学材料学院全自动薄膜沉积系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	全自动薄膜沉积系统	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2023-04-24 15:49	采购结束时间	2023-05-01 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后100天交货	经办人	王老师	经办人电话	84115092
送货地址	深圳市光明区新湖街道中山大学（深圳校区）工学园1-B110
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.sysu.edu.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
全自动薄膜沉积系统	1台		详情请进入系统查看
"全自动薄膜沉积系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 1、主机参数：主机参数：设备为单室结构，含溅射真空室、磁控溅射靶（2英寸4个）、自转基片台、加热系统、直流电源（1台）、射频电源（3台）、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜、半导体膜等的制备。主要技术指标如下：1.单腔体沉积室：尺寸不小于Ф450mmx400mm，304优质冷轧板不锈钢真空腔室；前开门结构设计。 非常重要 否 2 2.*磁控靶：可安装4个2英寸靶材（Ф50.8mm），可调节角度不低于45°，靶材在下自下而上共焦溅射，兼容RF、DC、MF，任意靶可同时工作实现共溅射，可溅射磁性靶材，配有磁流体控制的独立靶材挡板。 非常重要 否 3 3.基片台：4英寸（向下兼容），基片加热不低于600°C，最高转动速度不低于20转/分连续可调，独立挡板，靶与基片距离可调，最大距离不低于130mm。 重要 否 4 4.脂润滑复合分子泵:抽速不低于700L/S，机械泵：抽速不低于9L/S。 重要 否 5 5.溅射电源：全自动调谐匹配射频电源 3台，数字式恒流直流电源1台，功率均不低于500w。 重要 否 6 6.▲极限真空：≤5.0×10-5pa，从大气开始抽气25分钟可到6.6×10-4pa,系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa. 非常重要 是 7 7.不均匀度：尺寸为4英寸的样品不均匀度不高于±4%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约200nm）。 重要 否 8 8.工作气路：两路气体分别使用Ar、O2，流量为0-100sccm，0-50sccm。 重要 否 9 9.真空计：测量范围从大气压到高真空，高真空极限测量气压不高于1.0×10-6pa。 非常重要 否 10 10.插板阀：连续调整的电动插板阀+MFC控制，开合度精确到0.1%。 重要 否 11 11.控制平台：一键式操作控制方式，带误操作互锁保护。；2、附件参数：无；3、软件及其功能：PLC编译控制软件 重要 否 12 配置清单：1、高真空不锈钢腔室约Φ450mm×400mm 1套2、腔体防污内衬1套3、观察窗及法兰 RF100配衬玻璃防污1套4、腔室照明1只5、旋转基片工装直径4英寸1套6、旋转步进电机及电源 1套7、陶封电极 CF35四芯 1套8、分子泵700L/s脂润滑分子泵1台9、机械泵9L/S 1台10、电动插板阀CC-150 1台11、旁抽阀DF40 1台12、气动截止阀DF40 1支13、电磁充气阀DF40 1支14、电磁截止阀DN6 2台15、气动截止阀DN16 1个16、真空抽气管道 不锈钢三通及波纹管2台17、真空计 ZDF-5201 1个18、永磁靶4只19、磁控靶接管组件 4只20、靶的挡板 invacuum气动 4只21、500W直流溅射电源 1台22、500w射频电源 全自动调谐匹配 3台23、质量流量控制器 量程0-100SCCM 0-50SCCM 2路24、控制电源 分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤,基片旋转、基体加热、连锁控制系统等 1台25、总控制电源1台26、水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头 不锈钢材质,配套合理管路1套27、气管、变通、接头气体管道金属管 1套28、安装机架 型材欧标方式 1台29、靶材 测试靶材 4块30、密封、连接件及其附件 金属密封（静密封）+氟胶圈密封 1批31、氟橡胶密封圈 相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈 1套32、无氧铜垫圈 1套33、气泵 1台34、冷水机 5kw 1台 非常重要 是

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