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一、项目名称：表面微区光学及物理性质综合表征系统
二、招标编号：()
三、招标人：苏州大学采购与招投标管理中心*
四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求
表面微区光学及物理性质综合表征系统1套
表面微区光学及物理性质综合表征系统通过椭偏仪与扫描探针显微镜的联用，实现表界面分子组装及原位实时反应的表界面表征，在获得薄膜的膜厚、折射率、吸光系数、带隙、介电常数等信息外，同时获得同区域的纳米级空间分辨率的表面形貌、力学、电学、磁学等信息。
（一）主要技术指标及配置要求
1、技术要求
1.1应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），对特殊结构的材料具有光学性能分析能力；同时具备完整的形貌学、电学、力学等测量功能。
1.2测量范围：Psi=0°～90°，Delta=0°～360°，无死区。
*1.3 Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi=45°,Delta=0°），满足：
Ψ≤45°±0.01°，Δ≤0°±0.02°（1.5eV-5eV）。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）
1.4测量重复性（80nm-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4Å，折射率n（633nm）≤0.0003。
1.5具备稳定的原子级、分子级分辨能力。
2、椭圆偏振光谱仪配置
2.1光谱范围覆盖190nm～2100nm。
2.2激发头
2.2.1光源：高稳定氙灯，功率≥75W，包括电源和用于监测灯寿命的计时器。
2.2.2使用消色差反射镜系统将激发光聚焦到样品上。
*2.3探测头：要求采用光弹调制的相位调制技术，频率≥30kHz。（提供制造商官网网址链接及截屏证明）
2.4探测系统：
2.4.1双级相加光谱仪，2次分光抑制杂散光。
2.4.2高杂散光抑制比，《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。
九、招标文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。
十、*投标截止时间：2022年11月15日9:00。

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