项目概况

上海交通大学多靶磁控溅射系统 招标项目的潜在投标人应在上海市四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2022年12月20日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：0773-2241SHHW0168/校内编号：招设2022A00159

项目名称：上海交通大学多靶磁控溅射系统

预算金额：200.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：200.0000000 万元（人民币）

采购需求：

序号	设备名称	数量	简要技术参数	交货期	交付地点	用途
1	多靶磁控溅射系统	1套	1．沉积材料：可直接溅射金属和介质材料靶材，并可采用反应溅射的方法制备介质薄膜；2．不锈钢工艺真空腔内径≥600毫米，高度≥450毫米，工艺腔室前开门上附带至少一个直径≥100毫米带挡板的观察窗；其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。	合同签订后六个月以内	上海交通大学用户指定地点	上海交通大学拟采购1套多靶磁控溅射系统，磁控溅射薄膜沉积系统，主要由镀膜工艺腔、进样室、真空泵系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等组成。在真空状态下，电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与工作气体（多为氩气）发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。整个过程中，为靶枪所加载的功率在一定范围内连续可调，可用软件控制靶枪功率来控制靶材原子的沉积速率。

合同履行期限：合同签订后六个月以内

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。

3.本项目的特定资格要求：1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权书（见格式 IV-9-4）；2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4）不接受联合体投标。

三、获取招标文件

时间：2022年11月29日 至 2022年12月06日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

方式：（1）投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）” 供应商注册进行网上注册。（2）注册转账之后，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发送至zjzb2022@126.com。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年12月20日 09点30分（北京时间）

开标时间：2022年12月20日 09点30分（北京时间）

地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.标书费、投标保证金、中标服务费专用账户：

招标代理机构开户银行(人民币): 中国建设银行上海斜桥支行

招标代理机构开户银行(美元): 中国建设银行上海黄浦支行

账号(人民币): 31001514800050010790

账号(美元): 31001514800050010790

户名：中金招标有限责任公司上海分公司

2.本项目为国际招标，招标公告详见机电产品招标投标电子交易平台。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：上海交通大学　　　　　

地址：上海市闵行区东川路800号　　　　　　　　

联系方式：招采办经办人：陈老师/86-21-54744366；技术联系人：乌老师/86-21-34207734-8020　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：中金招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　

地　址：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室　　　　　　　　　　　　

联系方式：宋晓飞、张莹莹、朱杨峰/86-21-66059798*108　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：宋晓飞、张莹莹、朱杨峰

电　话：　　86-21-66059798*108