中标
南方科技大学-竞价结果详情(CB143252018000556) —— 有机湿法台
金额
19.89万元
项目地址
广东省
发布时间
2018/09/03
公告摘要
公告正文
南方科技大学 - 竞价结果详情 （CB143252018000556）
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 有机湿法台 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-09-03 16:23 |
| 竞价结束时间： | 2018-09-08 16:25 竞价已结束 |
| 申购备注： | 备注:1.投标人须为境内合法注册登记的法人，中标后不允许分包、转包。 2.投标人必须按要求在 报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商（全称）和产地信息，如不提供，视为无效投标 。 3. 项目预算为人民币199000元；质保期为壹年；交货期为合同签订后50日内；付款方式为合同生 效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收 合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后 支付。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 苏州晶淼半导体设备有限公司 | 有机湿法台 | 1 | 苏州晶淼 | JM18-NK06-YJ02 | 按行业标准提供服务 | 一、 设备主体 1. 整机尺寸不小于1350mm W x 1350mm D x 1900mm H。台面高度为900mm，PP材质。清洗标的为6寸芯片，1篮/次，25片/篮；设备包括设备主体、电气控制部分、三个化学工艺槽（两个去胶槽、一个显影槽）、两个纯水清洗槽。 2. 设备主体使用12mm厚板材，双层防漏，机台底盘采用PP板，热焊接而成；骨架机构采用钢骨架+PP板组合而成；三个化学槽成一行排布，两个清洗槽成一行排布，清洗槽旁配备有PTFE纯水枪和氮气枪各1只；化学槽和清洗槽之间配备透明PVC推拉安全门；药液槽正上方配有一个载物台，可用于临时放置物件或槽盖。 3. 管?系统：位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明；药液管路采用PTFE和PFA管，纯水管路采用CL-PVC+PFA管；电气保护：电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区；排风：后部排风和下沉排风设计，风量可调节；照明：本设备放置于黄光区，照明配黄光灯；机台支脚：有?轮装置及固定装置，并且有高低调整及锁定功能；安全保障：完善的报警和保护设计，液位、排液均有硬件或软件互锁，直观的操作界面，清晰的信息提示。 二、 控制系统 1. PLC可程式控制器+PROFACE 彩色人机界面操作；配备空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀，针阀、三色警灯；配备漏电断路保护、隔离变压器、漏液检测、EMO开关等安全保护装置；所有程序参数可修改，操作模式可分为自动/手动/编辑。 2. 电路区功能分块，强电、弱电块；所有电线及电子组件均有与电路图对应的明显标识，易于长期维护；权限设置：多级权限设置，分为作业员权限、工程师权限等，具密码保护功能以避免操作人员误改参数。 3. 设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护，防腐防水；设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；配有漏电流断路保护装置以及过温过载保护装置；EMO紧急开关位于机台上方明显处；蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；配有液位异常感知/安全液位保护；配有加热保护；机台底部设有?液检测及漏液报警。 三、 工作槽参数 1. 去胶槽（2套）槽体： 4mm厚石英缸五面体贴膜加热静态平口槽；并配有手动槽盖；槽内尺寸不小于250x210x250mm；手动供液补液；工艺温度：70℃温度可调，五面体贴膜加热，温控保护；液位控制：配有液位保护，防止无药液加热烧保护；批次记忆：药液使用次数可记忆，设定次数到后报警提示更换药液；计时功能：工艺时间控制界面可设定并可调，设定精度为1秒，倒序计时；排放：气动阀控制自然重力排放与温度互锁，当高于设定温度不排放，待自然冷却后可排放，回收桶位于设备后部，按钮控制排放，并设有满液停止排放。 2. 显影槽槽体：NPP材料焊接而成平口腐蚀槽；并配有手动槽盖；槽内尺寸不小于250x210x 250mm；手动供液补液；温度控制：工作温度为室温，无温控；计时及批次记忆：按钮点击记录腐蚀工作时间及药液工作次数并提示；排放：气动阀控制自然重力排放，回收桶位于设备后部，按钮控制排放，并设有满液停止排放。 3. QDR槽槽体尺寸不小于 250*210*250mm，NPP板材焊接而成；药液：DIW,自动底部注水， CL-PVC材质主管路+PFA管路；工作温?：室温；溢流方式：360°四面溢流,溢流口为波纹状；鼓泡：槽体底部设有氮气鼓泡装置，均匀鼓泡，流量可调，并可设定时间；喷淋: 由槽体顶部两排的DIW喷淋管和低雾化喷嘴实现；快排: 高流量排水阀，气动控制快速排放，N P P排放管路，快速排放时间≤6秒。 | 198900.0 | 单项低价原则 |
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