[单一]北京量子信息科学研究院激光直写光刻机成交公告

　　华诚博远工程咨询有限公司受北京量子信息科学研究院的委托，就激光直写光刻机（项目编号：PXM2018_015202_000209-JH002-XM006）组织采购，评标工作已经结束，成交结果如下：

一、项目信息

项目编号：PXM2018_015202_000209-JH002-XM006

项目名称：激光直写光刻机

项目联系人：杨楠

联系方式：18618127731

二、采购单位信息

采购单位名称：北京量子信息科学研究院

采购单位地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼

采购单位联系方式：83057401

三、采购代理机构信息

采购代理机构全称：华诚博远工程咨询有限公司

采购代理机构地址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A层

采购代理机构联系方式：18618127731

四、中标成交信息

招标文件编号：HCBY-ZC-2019038

本项目招标公告日期：2019-03-29

中标成交日期：2019-06-06

总中标成交金额：347.415 万元（人民币）

中标成交供应商名称、地址及中标成交金额：

中标成交供应商名称：华格科技（苏州）有限公司

中标成交供应商地址：中国苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3

中标金额：347.415万元

供应商名称	供应商地址	统一信用代码	中标金额
华格科技（苏州）有限公司	中国苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3	91320594729314047G	347.415 万元

本项目代理费总金额：3.3772万元（人民币）

本项目代理费收费标准：

参照国家计委《招标代理服务收费管理暂行办法》计价格〖2002〗1980号文下浮20%

评审专家、谈判小组、询价小组、磋商小组成员名单及单一来源采购人员名单：

孙家跃、邢燕、薛光明

五、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。

简要技术要求：

1、温控防尘罩：

设备须备有温控防尘罩, 防尘罩功能是主要将外部空气通过灰尘过滤装置利用气流正压流量控制维持防尘罩内空气的质量，同时亦可控制内部的温度控制以达到光刻与精度质量控制。需满足以下指标：

l 灰尘粒子过滤等级：10级；

l 气体流量控制：0.3到0.5 m/s之间；

l 温度控制： +/- 0.1°C；（外在环境+/- 1°C情况下）

2、大理石花岗岩机座及气浮防震装置；

3、光刻半导体激光器；

l 激光器种类： 半导体激光器,

l 激光器波段： 405nm

l 激光能量： 300mW

l 一般使用寿命： 至少10000小时

l 激光器保证使用寿命： 至少5000小时或一年

……

（详见单一来源采购文件）

合同履行日期：合同签订后6个月内完成供货。

六、中标成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

供应商	商品名称	规格型号	数量	单价	总价	服务要求
华格科技（苏州）有限公司	激光直写光刻机	DWL66+	1	347.415万元	347.415万元	激光光刻机的技术数据Write Lens 激光读写头 WM-I WM-II WM-IIIWrite Grid 描绘网格或数据分辨率 10nm 50nm 100nmAlignment Accuracy 套刻对准精度 600......

七、其它补充事宜

公告期限：1个工作日。

本公告同时在中国政府采购网及北京市政府采购网发布。

本项目为单一来源采购。

公告期限：1个工作日

北京量子信息科学研究院激光直写光刻机成交公告.pdf

量子院-单一来源-激光直写光刻机-采购文件-5.29.pdf