采购结果详细（202301800039）---- 西安电子科技大学广州研究院

申购单主题：	射频GaN HEMT器件石英掩模版采购	申购单位：	广州研究院
申购备注：
中标供应商	深圳市龙图光罩股份有限公司					中标总价	250992
初选理由	最低价原则

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer0-AMK	不指定品牌	不指定型号	8	国内含税价/人民币
规格	8套包含Layer0-AMK，Layer1-ISO，Layer3-RES，Layer5-V1E，Layer6-SFP，Layer7-M1M, Layer8-CPD,Layer9-ABP 1. 7012 普通1：1,CD(on wafer)=2um, CD Tolerance(on mask)=0.2um,Registration & Overlay(on mask)=0.2um 2.石英材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer10-M2P	不指定品牌	不指定型号	4	国内含税价/人民币
规格	4套包含Layer10-M2P，Layer101-M2E, Layer11-TPW, Layer12-BKV 1. 7012 普通1：1, CD(on wafer)=3um, CD Tolerance(on mask)=0.3um,Registration & Overlay(on mask)=0.3um 2.玻璃材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer21-EBW	不指定品牌	不指定型号	2	国内含税价/人民币
规格	2套包含Layer21-EBW，Layer12-BST 1. 7012 普通1：1, CD(on wafer)=5um, CD Tolerance(on mask)=0.5um,Registration & Overlay(on mask)=0.5um 2.玻璃材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer2-OHM	不指定品牌	不指定型号	2	国内含税价/人民币
规格	2套包含Layer2-OHM，Layer41-GTH 1. 7012 普通1：1, CD(on wafer)=1um, CD Tolerance(on mask)=0.15um,Registration & Overlay(on mask)=0.15um 2.石英材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer0-AMK	不指定品牌	不指定型号	8	国内含税价/人民币
规格	8套包含Layer0-AMK，Layer1-ISO，Layer3-RES，Layer5-V1E，Layer6-SFP，Layer7-M1M, Layer8-CPD,Layer9-ABP 1. 6025 5：1, CD(on wafer)=2um, CD Tolerance(on mask)=0.2um,Registration & Overlay(on mask)=0.2um 2.石英材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer10-M2P	不指定品牌	不指定型号	4	国内含税价/人民币
规格	4套包含Layer10-M2P，Layer101-M2E, Layer11-TPW, Layer12-BKV 1. 6025 5：1, CD(on wafer)=3um, CD Tolerance(on mask)=0.3um,Registration & Overlay(on mask)=0.3um 2.石英材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer21-EBW	不指定品牌	不指定型号	2	国内含税价/人民币
规格	2套包含Layer21-EBW，Layer12-BST 1. 6025 5：1, CD(on wafer)=5um, CD Tolerance(on mask)=0.5um,Registration & Overlay(on mask)=0.5um 2.石英材质 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer2-OHM	不指定品牌	不指定型号	1	国内含税价/人民币
规格	1. 6025 5：1, CD(on wafer)=1um, CD Tolerance(on mask)=0.15um,Registration & Overlay(on mask)=0.15um 2.石英材质,单面贴膜 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
Layer40-GTF	不指定品牌	不指定型号	2	国内含税价/人民币
规格	2套包含Layer40-GTF，Layer41-GTH 1. 6025 5：1, CD(on wafer)=0.5um, CD Tolerance(on mask)=0.075um,Registration & Overlay(on mask)=0.1um 2.石英材质，单面贴膜 3. 包含版图设计 4.成交后3天之内交付掩模版