采购项目名称：探针测试台
采购项目编号：清设比选20231628号
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采购单位：清华大学
物资名称：探针测试台
采购数量：1
计量单位：台
技术参数及配置要求：探针台包括探针测试台台体、显微镜、CCD成像系统、探针座、三轴夹具、探针、针卡夹具、真空泵、防震桌、压缩机等装置，赠送运费和保险，提供原厂售后工程师现场安装调试与培训服务，质保36个月，免费移机一次，且满足以下参数要求。
1.探针测试台台体
•尺寸：约800mmL*580mmW*680mmH，重量大约95kg
•O型平台镀镍设计，增大了针座的加载空间，且提高了针座平台和针座之间的吸附力（可以至少放置10个探针座）
•Chuck X/Y轴丝杆采用双螺母防回程差设计,带防尘盖以保护丝杆持久顺畅
•Chuck行程：8英寸*8英寸，精度10um
•Chuck X/Y轴移动可以360度快速移动以应对不同工作场景，提高测试效率
•Chuck大小：8英寸，中心吸附孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制
•Chuck可以上下快速升降5mm，便于样品快速分离探针。chuck微调升降，行程6mm，精度1微米，方便使用探针卡时扎针。（大波轮+摇杆设计）
•Chuck镀金，具备更小的接触电阻
•卡盘的旋转角度：360度，调节精度0.1°（带刻度尺和角度锁死装置）
•卡盘电学独立悬空，带两个4mm香蕉头插口，成180度对角设计，可以作为背电极方便测试垂直器件
•高刚性龙门架结构，便于显微镜的移动，行程2英寸*2英寸，精度1um，带显示器支架
•显微镜气动升降50.8mm，便于更换物镜(需要压缩空气)/显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带重力自动锁定功能（匹配金相显微镜时使用）
•探针平台可以快速升降，可选择5mm和250um 两档
•探针平台可以上下微调，行程25mm，升降精度1µm
•探针平台升降调节功能可加装探针卡，便于针卡重新定位，快速切换芯片测试
•带接地端子，有效防止静电对测试的影响
•探针台与显示器一体化设计，减小设备的占地空间
2.显微镜
•Motic高解析度长工作距离显微镜，可加载激光
•变焦 1X~2X
•目镜: 10X，•双目距调节范围52-75mm
•物镜：5X (WD：34mm，NA:0.14),10 X (WD ：33.5mm，NA:0.28),20 X (WD ：20mm，NA:0.42)
•显微镜光学放大倍数=目镜*物镜*变焦倍率，倍率范围：50X~400X（更换其它物镜可使倍率范围更广）
•CCD接口,CCD接口形式为C Mount形式
•手动物镜切换鼻轮（四孔）
•显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1微米
•150W独立照明光源，亮度可以无极调节。
•防静电功能：架台，变倍镜筒，10X目镜，辅助物镜等都具有防静电功能，这个功能在观察需要防静电的样品时（如半导体芯片等）很有用（若使用此功能时，可通过架台后面的地线插口将显微镜接地）
•密封功能：变倍镜筒，10X目镜都具有密封功能，当显微镜在油汽，水汽等湿度较高的环境中仍能较方便的使用
•创建性人机学设计，更加保证操作者长时间舒适操作具有高清晰度，大视场，长工作距离等特点，广泛应用与教学示
范，生物工程，IT产业检测等领域
3.CCD成像系统
•HDMI接口高清（200万像素）CCD
•1/2.8英寸 SONY CCD
•分辨率达到1920*1080
•帧率60fps
•具备U盘接口
•内置长度测量软件
•带HDMI视频线缆，带显示器
•带U盘一个，usb3.0,接口，FAT32格式
4.探针座
•精密丝杠+圆珠滚子导轨
•X/Y/Z行程：13mm，精度：1μm
•高刚性结构，弹簧消隙 X-Y-Z，稳定无间隙
•吸附形式：N52等级强磁吸附底座，开关 ON/OFF
•应用：可搭配同轴/三轴夹具/开尔文/射频调节机构使用
主要特点：丝杆传动，手感顺畅，具备防呆设计
5.三轴夹具
• ±20v 电压下漏电精度能达100FA
•线长1.5米，三轴公接口
•叁轴设计，带Force，Guard和Ground
•Z字形设计，使用金相显微镜时可有效防止与物镜的干涉
•采用Trompeter 高屏蔽三同轴电缆TRC-50-1
•机械式锁定探针，不易松动，不锈钢设计刚性强
•黄铜镀金工艺做无磁化处理
•带安装探针专用一字螺丝刀
6.探针
•2微米针尖直径的探针，5PC/BOX
7.针卡夹具
4.5英寸标准针卡夹具
•可精细调节针卡与wafer的水平和角度一致性
8.真空泵
静音无油真空泵7 升/分钟
•到达真空度:-33.3kPa（ -250mmHg）
•用于吸附样品
9.防震桌
尺寸: 适配探针台尺寸
•气浮式防震机构
•带脚杯和脚轮
•带标准光学蜂窝板
•独立于防震桌设计，减小开关屏蔽箱时对测试的影响
10.压缩机
•重量:25千克左右
•尺寸: 41cm长*41cm宽*55cm高
•噪声：51dB
•给防震桌和显微镜气动升降提供合适气压
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