招标项目编号：1289-234023ZB1552
招标范围：1 套刻精度测试设备 2台 实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中利用照明与成像的方式，获取晶圆上的套刻图案的图像，通过算法对套刻图案进行信号分析，计算当层与前层曝光图案的位置偏差，监测光刻工艺的好坏。
招标机构：华采招标集团有限公司
招标人：北京燕东微电子科技有限公司
开标时间：2023-11-28 10:00
公示开始时间：2023-11-29 20:04
评标公示截止时间：2023-12-04 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国 |
