采购结果详细（202300113918）---- 中山大学

申购单主题：	常高温三轴槽型卡盘	申购单位：	微电子科学与技术学院
申购备注：

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
常高温三轴槽型卡盘	SEMISHARE	H1T4-U-T	1	国内含税价/人民币
规格	一、常高温三轴槽型卡盘（H1T4-U-T） 1台，参数如下： 1、直径 ：105mm，厚度 ：40mm，卡盘平整度：±10µm； 2、真空吸附方式：中心吸附孔+外围多圈吸附槽，中心孔孔径：0.4mm，中心孔和3mm吸附槽内部气路连通，外围吸附槽直径（mm）：3, 27, 45, 69, 93； 3、中心吸附孔和吸附槽的真空通道采用如下分区独立控制的方式（全自动探针台用卡盘除外）；single die zone 1 central hole+3mm 2inch zone 2 27mm+45mm 4inch zone 3 69mm+93mm 4、卡盘为三轴结构，带Top plate 层，Guard层和Ground屏蔽层；卡盘Top plate电学独立悬空，带两个M3螺纹孔和螺丝（接测试线用） •漏电流： 同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃，三轴50PA/10V @200℃,高温测试条件：接地屏蔽的干燥（空气露点低于-40°C）环境 •温度范围：常温~300℃； 5、温度设置和显示分辨率:0.1℃，温度稳定性：±0.1℃，温度均匀性：室温~100℃ ＜±1℃；100~200℃ ＜±1%，＞200°C＜±1.5%；卡盘升降温度速率如下： +25°C to +200°C : 30min +25°C to +300°C : 40min +200 °C to +25°C : 30min（选配冷却降温模块时达到） +300 °C to +25°C : 40min（选配冷却降温模块时达到） 6、卡盘温控系统： 触摸屏控制，可以编程控制升温，带RS485通信接口，可以计算机控制所有需用户选择的参数，带温度补偿功能，可以精确显示Chuck 表面真实温度；升级卡盘，增加水冷机和管路等，用于卡盘的降温和卡盘与卡盘安装底座间的温度隔离； 7、水冷机带4.1L纯水储水量，1.0~1.5（kw）压缩机制冷，水温显示，15L/min流量，双路水循环。 （二）、探针座（SEMISHARE SS-100-m） 1个，参数如下： 1、尺寸: 115mm长*100mm宽*112mm高； 2、磁力吸附，带磁力开关，X-Y-Z 方向的移动行程分别为12mm； 3、线性移动，瑞士制造精密牙具，移动分辨率0.7 微米每度。 （三）、L型三轴接口夹具（SEMISHARE T2L） 1个，参数如下： 1、配合屏蔽箱漏电精度能达100FA，线长2米，安装探针用一字螺丝刀。 （四）、探针（GGB ST-20-5.0） 1个，参数如下： 1、10微米针尖直径的探针，5PC/BOX。 （五）要求现场系统安装和调试。
中标供应商			单价		初选理由
广州科环力创科技有限公司			65000		最低价原则