中标
深圳大学-竞价结果详情(CB105902017001236) —— 特殊定制真空蒸镀系统
金额
17.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2017/09/11
公告摘要
公告正文
深圳大学 - 竞价结果详情 (CB105902017001236)
基本信息: | |
申购单主题: | 特殊定制真空蒸镀系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2017-09-11 18:23 |
竞价结束时间: | 2017-09-18 10:00 竞价已结束 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
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自报价厂商:沈阳科诚真空技术有限公司 | 特殊定制真空蒸镀系统 | 1 | 沈阳科诚真空技术有限公司 | KC-ZD400 | 按行业标准提供服务 a.全新品 b.保固1年 c.现场安装 测试 | 各部分的技术指标如下: 1、真空室腔体1套 a) 304不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门,方便清洗真空腔体,真空室内部调试,维修以及取放物品,前门采用横拉方门)真空室腔体1套(采用电解抛光,真空室内外洁净美观,内部尺寸D400*450mm),前后门配DN100视窗3套; b) 底部:金属源接口3套,有机源接口1套,国产600L/S风冷分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口3套; c) 顶部:样品台接口1套,电动挡板接口1套,KF16气动角阀接口1套; d) 左侧:CF35气动预抽角阀接口1套,KF16气动放气阀接口1套。 2、蒸发源:金属蒸发源3套,有机蒸发源1套 a) 金属蒸发源3套:铜电极3对,安装钨、钼或钽舟,配气动挡板,配1KW可控硅调压电源2台,电流调整精度0.1A(微调); b) 有机蒸发源1套:4CC石英舟,温控电源1台(PLD控制,日本导电牌SR93温控表),精度±1℃,温度区间:室温-500℃,配气动挡板; c) 蒸发源隔板分隔,避免交叉污染。 3、样品台1套: a) 可升降,可旋转(转速0~30转/分连续可调),可水冷; b) 托架:样品托架大于120*120mm(15*15mm样品25片或者25*25mm样品16片等,按客户需求); c) 样片与蒸发源间距200-300mm; d) 电动托架大挡板。 4、真空泵机组1套: a) 国产600L/S风冷分子泵1台; b) 9L/S旋片泵1台; c) CF160高真空气动插板阀1台; d) CF35高真空气动挡板阀1台; e) KF16高真空气动挡板阀2台; f) KF40高真空电磁截止阀1台; g) KF40真空电磁充气阀1台; h) KF40泵阀连接软管2套,KF40三通1套; i) ZDF—5227真空计1台。 8、其他技术参数: a) 缺相保护、误操作保护等功能; b) 供电:~220V两相供电系统(峰值6KW); c) 供水:小型冷水机,冷却水温度5℃~35℃,工作环境温度:10℃~40℃; d) 极限真空:6×10-5Pa,大气至6×10-4Pa时间小于35分钟(充干燥氮气),关机12小时真空度≤10Pa; | 175000.0 | 总价最低原则 |
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