品牌

Filmetrics

型号

F50-UV

生产厂商

Filmetrics Inc.

产地信息

美国

技术规格及参数

1*测量氧化硅、氮化硅、非晶硅等介质薄膜厚度范围：5nm-40um
2* *测量n和k值最小厚度要求：不高于50nm
3 *波长范围：190-1100nm
4光纤通光波长范围：190-2200nm
5 准确度：优于0.2%或1nm
6 精度：优于0.02nm
7 稳定性：优于0.05nm
8 光斑大小：不大于1.5毫米
9 光源及寿命：外置氘灯：2000h和钨卤灯 1200h
10 *点位测试方式：任意多点自动化测试，生成厚度MAPPING图（1.圆形/方形，2.放射形，3.中心或边缘排除，4.点位密度，5.定制（按样品需要编辑坐标点））
11 样品台：自动化R-Theta移动平台，样品台直径不小于200mm
12 *测试速度（含有真空夹盘）：5个点5秒,25个点14秒,56个点26秒
13 厚度标准片：配置厚度约7000A的氧化硅厚度标准片
14 反射率参考片：配置4/6/8英寸标准硅参考片
15 *离线分析软件：可授权离线分析软件模拟实际测量（不需要连接主机）
16 聚焦镜片：190-1700nm超宽光谱聚焦镜片
17 厚度拟合算法：至少拥有Exact，Robust和FFT三种厚度拟合算法
18 材料库：拥有不小于100种不同材料的数据库，可自由导入新材料文件
19 原始信号：可实时显示光强原始信息，用于信号聚焦
20 反射率模拟：可进行不同镀膜材料的建模，模拟镀膜膜系的反射率曲线
21 *色坐标测量：可实现光谱CIE-L*a*b* 色坐标测量
22 电脑抛档：可以实现测量文件抛档，与自命名
23 文件导出格式：CSV,fibhi,mls
24 *一体化设计：测量模块与运动机构一体化设计
25 *2D与3D测绘:2D与3D 的呈现方式，能采用不同颜色区域体现反射率，厚度，折射率的测量结果

售后及质保要求

1.交货期的要求：签订合同后【98】天内，具体时间根据学校要求提前天【2】通知送货。
2.质保期：中标人提供制造商免费质保【1】年。
3.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【4】小时内响应，【48】小时内派员上门现场维护，并在【72】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。