招标
真空热蒸发镀膜机（XF-WSBX-2400524）采购公告
金额
24万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/10/23
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 真空热蒸发镀膜机 | 项目编号 | XF-WSBX-2400524 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2024-10-23 03:02:29 | 公告截止日期 | 2024-10-30 05:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后60个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ 240000.00 + NaN + NaN | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 紫金港校区和同苑10幢1007 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 真空热蒸发镀膜机 | 1 | 台 | 真空应用设备 无 无 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | GT400-S8 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 品牌4 | |
| 型号 | |
| 品牌5 | |
| 型号 | |
| 品牌6 | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ 240000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。 一、 底盘结构： 1. 采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈； 2. 底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 3. 带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。 4. 电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。 二、基片架结构 1. *可以固定16片15mmx15mm基片，在线切换一次掩膜板，下方可容纳1片135mm x 135 mm的基片，向下兼容，采用嵌入式结构。 2. 电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 三、蒸发源 1. 8组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见有机，金属及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥350mm。 2. 每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。 3. *每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动。 4. 源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。 5. 1台蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 四、自动化控制软件 1. *采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成。 2. *控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 3. *带有一键自动蒸镀功能。 五、膜厚控制系统 1. *2个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 2. *膜厚速率显示精度在±0.01A/S。 3. 蒸镀速率，可蒸金属: 以àg为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性≤5%。 六、真空室 1. 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm*400mm*560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 2. *真空腔体配备两个可以完全打开的门，腔体极限真空优于3.5*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护） 3. 带有旁抽系统，可以在不分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。 4. 腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板。 七、真空系统 1. 前级泵的抽速不低于24m 3/h。 2. 主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。 3. 主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥160mm。 4. *自动抽气控制，带安全互锁功能。 5. 配有前级管路等相应的硬件。 6. 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5pa。 其中带*号的技术指标必须满足。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
2024-10-23 03:02:29
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