蒸发镀膜系统 - 给力标讯

公告摘要

项目编号jj21102615435967

预算金额19.6万元

招标公司华南师范大学

招标联系人-

中标公司沈阳科诚真空技术有限公司19万元

中标联系人-

公告正文

蒸发镀膜系统

发布时间：2021-11-02

蒸发镀膜系统

竞价结果（JJ21102615435967）

开始时间：2021-10-26 15:43:00 截止时间：2021-11-01 17:50:00 截止时间已过

成交单位：沈阳科诚真空技术有限公司

成交价： 190000.00元

说明：各有关当事人对竞价结果有质疑的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内提起质疑，逾期将视为无质疑，不予受理。

采购单位：华南师范大学

联系人：13691671066

联系电话：13691671066

E-mail：无

传真：无

联系手机：13691671066

邮编：无

质疑电话：13691671066

项目名称：蒸发镀膜系统

竞价编号：JJ21102615435967

采购类型：货物类

开始时间：2021-10-26 15:43:00

项目预算（元）：196,000.00

结束时间：2021-11-01 17:50:00

采购单位：华南师范大学	联系人：13691671066
E-mail：无	联系电话：13691671066
传真：无	联系手机：13691671066
邮编：无	平台联系电话（异议）：020-37619972；[email protected]
项目名称：蒸发镀膜系统	竞价编号：JJ21102615435967
采购类型：货物类	开始时间：2021-10-26 15:43:00
项目预算（元）：196,000.00	结束时间：2021-11-01 17:50:00

项目名称：蒸发镀膜系统

产品信息

序号	产品名称	产品类别	标配	单位	数量	应标品牌	应标型号	产地	偏离说明
1	蒸镀镀膜系统	真空镀膜机及附属装置	是	台	1.00	沈阳科诚	KC-ZD06	辽宁沈阳	无偏离
规格配置：1、真空室腔体:1套 1）外形：304优质不锈钢D形前后开门（后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门）真空室腔体1套（真空室内部尺寸D400*480mm），前后门各配DN100视窗1套； 2）底部：金属源接口4套，有机源接口2套，JTFB-600风冷复合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美国MCVAC水冷膜厚探头接口2套； 3）顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套； 4）左侧：CF35气动预抽角阀接口1套。 2、金属/有机源系统：1套 1）金属蒸发源4套：水冷铜电极4组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源2台（数字显示），电流调整精度1A（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀； 2）有机蒸发源2套：4CC石英舟，温控电源1台（温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板； 3）隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。 3、样品台系统：1套 1）基片旋转：转速0～30转／分连续可调； 2）基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调； 3）基片挂架：130×130mm基片台，比如可承载最多25片15×15mm基片； 4）基片挡板：电动挡板。 4、膜厚检测系统：1套 1）膜厚仪：美国infocon，SQC310两通道石英晶振膜厚监控仪1套； 2）膜厚探头：美国MCVAC水冷膜厚探头2套。 5、其他技术参数： 1）供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃； 2）极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。
售后服务：质保一年

产品信息end