一．采购人名称：之江实验室
二．单一来源编号：/
三．采购项目名称：激光直写系统
四．采购项目概况：
序号 | 项目名称 | 数量 | 单位 | 预算金额 | 简要规格描述 | 备注 |
1 | 激光直写系统 | 1 | 台（套） | 375万元人民币 | 直写极限分辨率≤0.5 μm等 |
五．拟采用的采购方式：单一来源采购方式
六．申请理由：
激光直写系统广泛应用于半导体光电器件、CMOS器件和功率器件的制造加工，是微纳加工平台的必要设备之一。
根据实际需求，微纳加工平台需要实现最小线宽0.5微米，同时套刻误差200纳米的加工精度。
经过充分调研，目前国内市场上只有华格科技（苏州）有限公司代理的德国海德堡设备DWL66+能够满足该需求，故申请单一来源采购。
八．拟定供应商：
1、拟定供应商名称
华格科技（苏州）有限公司
2、拟定供应商地址
江苏省苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3
九．论证专业人员信息及意见：
专业人员姓名 | 专业人员工作单位 | 专业人员职称 |
国伟华 | 华中科技大学 | 教授 |
黄庆忠 | 华中科技大学 | 副教授 |
樊中朝 | 中科院半导体所 | 研究员 |
储涛 | 浙江大学 | 教授 |
董树荣 | 浙江大学 | 教授 |
张睿 | 浙江大学 | 副教授 |
李德钊 | 浙江工业大学 | 副教授 |
具体论证意见：
2020年5月28日，之江实验室科研装置中心组织专家就微纳加工平台激光直写系统采购进行单一来源采购论证，论证专家组听取了该设备采购项目的汇报，就相关问题进行了质询，在各位专家独立评价的基础上，经充分讨论，形成如下论证意见：
1.激光直写系统广泛应用于半导体光电器件、CMOS器件和功率器件的制造加工，是微纳加工平台的必要设备之一。
2.所论证的性能参数合理，能够满足超级感知、量子传感及硅光芯片等科研领域需求。
3. 微纳加工平台需要实现最小线宽0.5微米，同时套刻误差200纳米的加工精度。经论证，市场上只有德国海德堡设备DWL66+能够满足该需求。符合单一来源采购要求。
论证论证专家经现场投票，同意以单一来源方式采购该设备7票，不同意以单一来源方式采购该设备0票，同意以单一来源方式采购该设备的票数超过了专家组总人数的三分之二，必须以单一来源方式采购该设备。
十．其它事项：
供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（本公示发布之日后的第5个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。
十一．联系方式
采购人名称：之江实验室
联系人：柳老师
联系电话：0571-56393505
地址：浙江省杭州市文一西路1818号之江实验室
代理机构名称：浙江省国际技术设备招标有限公司
联系人：马健飞
联系电话：0571-85864736
地址：杭州市凤起路334号同方财富大厦14层
附件信息:
采购专家论证表.pdf
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