招标
[HF20241708]MEMS月震计电镀工艺与测试询价公告
金额
17.8万元
项目地址
-
发布时间
2024/07/01
公告摘要
公告正文
一、采购项目信息
1.项目名称：MEMS月震计电镀工艺与测试
2.预算金额：178000元
二、供应商资格条件
1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定
2.需具备其他资质：详见采购文件
三、采购内容
| 序号 | 名称 | 数量 | 品牌 | 规格型号 | 技术参数 | 售后服务 |
| 1 | MEMS月震计电镀工艺与测试 | 10 | 1）MEMS晶圆RCA清洗及缺陷检测 2）MEMS晶圆匀胶曝光显影 3）MEMS晶圆金属种子层镀膜，蒸镀钛和金种子层 4）MEMS晶圆电镀金-5um厚 5）MEMS晶圆刻蚀金属图形，溶液腐蚀金和钛 6）MEMS晶圆图形光学及电气检测 |
质保期： 验收合格后12个月，报修后，邮寄产品回厂返工，需收件后72小时内开始重新加工 |
四、采购文件获取
与项目联系人约定。
五、响应文件递交
按采购人规定的方式和时间递交。
六、项目联系人
联系人：刘骅锋
电话：13027170699
邮箱：huafengliu@hust.edu.cn
华中科技大学物理学院
2024年07月01日
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