中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）手套箱与高真空电阻蒸发镀膜机联合系统采购项目
基本信息

项目编号	中大招（货）[2022]908号
项目名称	中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）手套箱与高真空电阻蒸发镀膜机联合系统采购项目
项目类型	货物采购	申购主题	手套箱与高真空电阻蒸发镀膜机联合系统	采购单位	中山大学
项目预算	***	采购开始时间	2022-11-26 11:21	采购结束时间	2022-12-02 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后90天交货	经办人	黎老师	经办人电话	020-84115085-809
送货地址	广州市番禺区大学城中山大学东校园纳米楼
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，报免税人民币价的公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。

设备列表

采购设备	数量	参考品牌	详细响应要求
手套箱与高真空电阻蒸发镀膜机联合系统	1套		详情请进入系统查看
"手套箱与高真空电阻蒸发镀膜机联合系统"技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否需要附件说明 1 手套箱: ★1、可得气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm，泄露率≤0.001vol%/h。包含2中以上的泄露率检测以及自动监控功能。 重要 是 2 手套箱: 2、手套箱尺寸：单工位+双工位手套箱（6支手）操作，单工位内部尺寸：长×宽×高≥1220 mm×750 mm×900mm，双工位内部尺寸：长×宽×高≥2440 mm×750 mm×900mm，304不锈钢材质。箱体底部配有支架，旋转脚轮，可微调水平，配有用于压力调节的脚踏板。双工位内左侧工位背部预留镀膜机接口，右侧工位底部安装石英窗口。 重要 否 3 手套箱: 3、一个大T型过度舱集成在中间，大过渡舱直径360mm，长度700mm，一个小T型过渡舱直径150mm，长度800mm。两个小过渡舱集成在左右两侧，尺寸：直径150mm，长300mm。所有过渡舱于箱体的连接方式均为可拆卸式法兰连接，不能焊接于箱体侧板。 重要 否 4 手套箱: 4、手套口铝合金。 重要 否 5 手套箱: 5、循环能力：集成2台风机，流量≥90m^3/h，加装变频控制。 重要 否 6 手套箱: 6、2台真空泵：可手动或通过PLC启动，流量≥12m^3/h，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵真空度可达2×10^-1pa，真空泵配装油雾过滤器和气镇。 重要 否 7 手套箱: 7、1套有机溶剂吸附器安装在箱体内部，更换时可通过小过渡舱取出，更换不影响箱体气氛。 重要 否 8 手套箱: 8、1套加大有机溶剂吸附柱，安装在循环管路中，可独立抽真空，填充10KG活性材料。 重要 否 9 手套箱: 9、2套单柱净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 重要 否 10 手套箱: ★10、2个气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座，六个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 重要 是 11 手套箱: ★11、2套检测系统：水分析仪：测量范围：0～500ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用。氧分析仪：测量范围：0-1000ppm，采用氧化锆传感器。 重要 是 12 手套箱: ★12、箱体前窗采用最新密封技术：O型密封圈真空密封法兰视窗。不得采用空心密封圈进行密封。 重要 是 13 手套箱: 13、配置2副手套。 重要 否 14 高真空蒸发镀膜机: ★1、有机/金属镀膜室：镀膜室尺寸不小于：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝；后门为侧开门；镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接。 重要 是 15 高真空蒸发镀膜机: 2、真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，分子泵：抽速不小于700 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S。 非常重要 是 16 高真空蒸发镀膜机: ★3、真空指标：极限真空： ≤5.0×10^-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)。 重要 是 17 高真空蒸发镀膜机: 抽速：从大气抽至8.0×10^-4Pa所用的时间≤40min。 非常重要 是 18 高真空蒸发镀膜机: 设备升压率：≤0.8Pa/h。 非常重要 是 19 高真空蒸发镀膜机: 设备保压：停泵12小时后，设备真空度≤10Pa。 非常重要 是 20 高真空蒸发镀膜机: 4、基片台：抽屉式结构，最大承载小于120×120mm基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；手动升降，基片台水冷温度：10～30℃；可根据用户要求定制掩膜板1套。 非常重要 是 21 高真空蒸发镀膜机: 5、基片台加热：加热温度：300℃，PID智能温控闭环控制。 重要 否 22 高真空蒸发镀膜机: 6、蒸发源：①金属蒸发源:3组；蒸发温度：室温～1300℃（真空状态）；金属蒸发电源：功率3000W；2台（1台电源可切换2组蒸发源）。 非常重要 是 23 高真空蒸发镀膜机: 蒸发源：②有机源：有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2套；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2台（独立PID智能温控蒸发）。 重要 否 24 高真空蒸发镀膜机: 蒸发源：③气动挡板及源间防污隔板5套。 重要 否 25 高真空蒸发镀膜机: 7、膜厚控制系统：晶振膜厚仪1台，晶振探头1支，原装晶振片1盒，在线监测膜厚及速率，速率显示0.01埃/s。 重要 否 26 高真空蒸发镀膜机: 8、控制方式：采用PLC+触摸屏半自动控制。 重要 否 27 高真空蒸发镀膜机: 9、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 重要 否 28 高真空蒸发镀膜机：附件参数：1、冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.17kW，1台。 重要 否 29 高真空蒸发镀膜机: 2、空气压缩机： 排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m^3)，噪音: ≤68dB，1台。 重要 否 30 保修范围：主机和配件 重要 否 31 售后服务要求：72小时应急服务，中标人24小时内（含24小时）响应，48小时内（含48小时）到达现场 重要 否 32 培训要求：提供不少于12小时培训，全面对操作人员进行设备及系统相关的知识、系统使用、日常维护以及常见故障判断及处理方法等培训，直至操作者能独立使用。（以上费用包含在投标报价中） 重要 否

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