东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000254)
发布时间：2024-03-08 16:01:11 截止时间：2024-03-12 09:00:00
基本信息：
申购主题：晶圆专用等 离子去胶机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后30天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** 人民币

收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

真空等离子去胶机

1/台

纳恩科技

NE-PE13FH

全自动阻抗匹配固态射频电源，频率13.56MHz，功率300W可调，316不锈钢腔体，腔体尺寸240mm（宽）*280mm(深)*200mm(高)，单层有效处理面积210mm*204mm,可处理层数3层，高导电铝合金专用电极，CCP&RIE离子反应放电模式，2路MFC质量流量控制系统，皮拉尼式真空计，16m³/h抽速干式真空泵，三菱PLC+7寸触摸屏，自主专利设计等离子控制系统，工艺配方可存储、调用

整机质保两年，2小时内响应，提供永久免费技术服务