高真空离子溅射仪(GY202400558)自购结果公示
发布时间：2024-03-06
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	速普仪器（太仓）有限公司
中标金额：	165000

公示开始日期	2024-03-06	公示截止日期	2024-03-07 17:42:08
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	预付50%，设备验收合格后支付50%
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学新一代半导体材料研究院

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
高真空离子溅射仪	1	台

品牌	SuPro	规格型号	ISC150T
技术参数	进口无油干泵和分子泵，极限真空10-3Pa，工作气压0.5-2 Pa，抽真空时间小于5 min，腔室尺寸φ150*120mm，可溅射Pt、Au等贵金属，也可以溅射碳、W、Ag等材料，可程序设定，触摸屏控制，冷却模式为风冷。附件中包含旋转样品台，偏转角度为-30 ~ +30度，自动旋转，小于60rpm可控；Au靶、Pt靶、碳靶、W靶、Ti靶，纯度为99.99%。
售后服务	服务网点:不限;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时;

资产与实验室管理部
2024-03-06