沈阳仪表科学研究院有限公司 ICP（感应耦合等离子体）刻蚀机
设备采购项目重新招标公告
招标编号：XDZH-2023YBHW-14
公告发布时间：2023 年 9 月 1 日
招标条件
本招标项目为 ICP（感应耦合等离子体）刻蚀机设备采购项目，招标人为沈 阳仪表科学研究院有限公司，资金来源为高精度传感器项目专项资金。该项目已 具备招标条件，现对 ICP（感应耦合等离子体）刻蚀机设备采购项目进行公开招 标。因一次公告潜在投标人不足，现发布重新招标公告。项目概况与招标范围
2.1 招标内容：ICP（感应耦合等离子体）刻蚀机 1 台，最高限价 230 万元。2.2 设备主要用途：基于感应耦合等离子体技术，专用于氟基气体干法刻蚀。主要刻蚀 Si、SiO2、Si3N4、SiC 等材料。
2.3 ★设备构成：设备带有主机、真空系统、反应腔、人工取放片盒，运行
2.4.1 均匀区内每炉样品数量◆Φ4 英寸样品，1 片 ◆Φ6 英寸样品，1 片
方式为全自动。设备需要有连续加工的能力。
2.4 设备主要技术指标
2.4.2 ★刻蚀室极限真空度：≤2×10-4Pa
2.4.3 ★刻蚀不均匀性：≤±5％（Φ6 英寸范围内）；≤±5％（Φ4 英寸范 围内），批间不均匀性≤±3％；以上均为 ee8（去边 8mm）
2.4.4 最大刻蚀速率
◆Si：≥1μm/min
◆SiO2：≥0.5μm/min
◆Si3N4：≥0.5μm/min
2.4.5 ★工艺气路系统：不少于 6 路，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、He。2.5 ★交货期：7 个月内。
2.6 交货地点：买方所在地。投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格；
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验，并具有相应的业绩；3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函复印件并加盖公章，同 时应具有两年以上相关产品的销售经验；
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 9 月 2 日 9:00 时至 2023 年 9 月 8 日 16:00 时（北京 时间），节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 500 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内，于沈阳市皇姑区昆山中路万众商务 大厦 1705 室现场领购或通过电子邮件 xdgj_yby@yeah.net 提交资格文件和获取 招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明、法人代表证明、法定代表人签署的委托代理人授权书等。投标文件的递交
商务大厦）。
件，招标人将予以拒收。5.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 9 月 25 日 9 时 30 分前现场递交至 北京兴电国际工程管理有限公司会议室（地址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号万众发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站（http://www.cebpubservice.com/）上发布，因轻信其他组织、个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人、招标 代理机构概不负责。联系方式
招 标 人：沈阳仪表科学研究院有限公司
地 址：沈阳市大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：024-82240270
招标代理机构：北京兴电国际工程管理有限公司
地 址：沈阳市皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟、付云鹏
联系电话：18525035687
电子邮箱：xdgj_yby@yeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）
招标人或其招标代理机构： （盖章）