项目名称：高真空有机及金属蒸发镀膜机
项目编号：XF-WSBX-2300200
采购单位：浙江大学
联系人： 中标后在我参与的项目中查看
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签约时间要求：成交后15个工作日内
到货时间要求：
预算总价：325000
收货地址：浙江大学紫金港校区和同苑9幢材1-D102
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:高真空有机及金属蒸发镀膜机
采购数量:1
计量单位:台
预算单价:325000
技术参数及配置要求:1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门和后门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为常闭门，便于设备清理维护；特点：镀膜设备与手套箱复合一体式设计，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；
2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高”数显复合真空计；
3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；设备升压率≤0.8Pa/h;
4.水冷式基片台：抽屉式结构，承载最大小于120×120mm 基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20 转/分钟可调；蒸发源到样品可调节距离：70mm；蒸发源与基片距离约260-330mm；基片台间接水冷。
5.金属源：水冷铜电极3组；蒸发电源:功率 1500W，1台（可实现1拖2）；进口日本TDK；
6.有机源：束源式控温有机蒸发源（最高温度600°），3 组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：3套（独立PID 智能温控蒸发）；采用日本TDK 蒸发电源Z+20-10；配4组气动挡板及源间防污隔板；
7.膜厚控制系统：Inficon进口晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚，型号SQC-310，双探头；
8.控制方式：采用 PLC+液晶屏+工控机全自动控制；
9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
10.配备有循环水冷机及空气压缩机，各1台；
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