项目名称：2 inch晶圆专用精密电镀实验装置

项目编号：A-WZBX0719

公告开始日期：2023-02-10

公告截止日期：2023-02-14

采购单位：化学化工学院

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预算总价：312836元

收货地址：厦门大学翔安校区醇醚酯大楼一楼115

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采购清单1

采购商品：2 inch晶圆专用精密电镀实验装置

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：

预算单价：312836.0

技术参数及配置要求：2inch 精密溢流镀槽（亚克力双重加厚底） 内寸：100*100*100（H）mm 容量：约1.5L/耐热温度：65℃ 2inch晶圆专用阴极盒/耐热温度：65℃ 2英寸晶圆专用厚度调节垫片 2inch晶圆专用阳极盒 16*16mm（电镀有效范围10*10mm） 晶圆切片阴极盒/耐热温度：65℃ 16*16mm 晶圆切片厚度调节垫片 16*16mm 晶圆切片阳极盒 2inch晶圆专用阳极（含磷铜板）（附阳极袋） 2inch晶圆专用电力线均匀搅拌仪（转速显示型）需变压器 1000W数码式温控仪 输入电压：100V 温控探头用不锈钢G型夹具（12㎜×12 φ7） 晶圆用加热管（电压100V，功率100W）需变压器 加温管用不锈钢G型夹具（12㎜×12 φ10） 微型精密过滤机20APFA型（附1μｍ滤芯） 最大流量：4.8L/min输入电压：100V/功率：50W需变压器 专用气泵（AC100V）出气量：约6.4L/ min输入电压：100V/功率：3.8W需变压器 空气滤膜 最高使用压力：0.8Mpa/过滤精度：0.01μｍ 最大过滤空气量：50-70L/ min 超精密电镀电源（1mV/10μA）（0-3A） 温控功能/PH值监控（PH仪另购）/可编程波形/时间电流累计/实验数据电脑集成 尺寸：221（L）*260（w）*396（H）mm 输出电压/输出电流：0-15V/0-3A 最小分辩率：1mV/10μA 对应OS：Windows8,10 输入电压:AC100V 重量：10.4kg需要变压器 2000W国产变压器 输入电压：220V/输出电压：100V

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