中标
电子科技大学-竞价结果详情(CB106142018000154)
金额
93.8万元
项目地址
四川省
发布时间
2018/08/02
公告摘要
公告正文
电子科技大学 - 竞价结果详情 （CB106142018000154）
发布时间： 2018-07-16 11:04
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | SG20180044260018英寸半自动探针台 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-07-16 11:04 |
| 竞价结束时间： | 2018-07-19 11:13 竞价已结束 |
| 申购备注： | 投标方的报价为美元，CIP成都双流国际机场。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 华美博科技（北京）有限公司 | SG20180044260018英寸半自动探针台 | 1 | MPI CORPORATION | TS2000-SE | 1系统自带工具箱及配套基本工具。 2设备质保期 设备验收签字之日起开始计算质保期，质保期为两年，除耗材外，在正当操作下，出现产品本身的质量问题，厂家负责免费维修或更换。 3 售后服务 3.1在保修期内，厂商需提供迅速优质的售后服务和技术支持，免费提供5*8小时热线电话支持服务和email支持服务；厂商应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题在48小时内解决，重大问题，厂商技术人员必须到项目现场解决。 3.2 在保修期内，对于用户方使用软件过程中出现的问题，24小时内做出答复。 4 设备包装箱应适应用户长途运输，防潮、防霉、防锈、防震。 | 主要技术指标及功能 1显微镜系统（功能：用于辅助观察测试探针与测试样品电极的定位） 1.1气动移动显微镜支架 1.2移动范围：X/Y 50mm×50mm 1.3工作距离：90mm 1.4分辨率：优于2.5μm 1.5包含HDMI高清CCD，CCD 300万像素，帧率120fps,目镜20倍放大倍数，物镜10倍的放大倍数，连续变焦，可输出极佳的全高清的彩色图像并显示在显示屏上。 ★1.6具备正置、侧置双光路系统，便于观测针尖位置。 1.7 配有21寸的显示屏，并用支架固定在探针台上，便于观察。 2半自动探针台主机（功能：为探针台测试系统提供平台，集成接线面板，使整套设备具备高度集成性和易用性） 2.1可加载磁性吸附探针座 2.2 Chuck平整度：＜10μm 2.3 Chuck可装载直径≤204mm以内样品，微调角度±6°, Kelvin Triax 连接方式，含有2个辅助载物台。具有屏蔽微暗室，能有效遮光、降低外界环境的电磁干扰、减少噪声干扰. 2.4 Chuck具备半自动功能，可自行编程控制，stage上X/Y移动范围：210mm×300mm，移动精度2μm，Z轴移动范围50mm, 移动精度2μm. ★2.5 Chuck具备样品真空分区吸附孔，软件可自动侦测到所放晶圆的尺寸并控制相应区域的真空开启，无需手动设置。 ★2.6 温控Chuck，温度控制范围 +20 度到+200度，温控精度0.1度，从+20度到+200度的升温时间小于20分钟，从+200度到+20度的降温时间小于25分钟。后期可升级至高温300度/低温-60度。 2.7 Chuck的系统漏电流在常温下小于30fA，高温下小于50fA。 ★2.8方便、无风险样品装载，具备探针台前面手动和侧面机械手臂半自动装载待测晶圆两种模式。 ★2.9探针台机台内置高度集成的气浮式隔振装置。 ★2.10设备控制软件支持全屏触摸式操作，便于使用者快速上手和简便操作。 2.11 Kelvin Triax集成连接器接口板1套（2个）.每个接口板含有4对（Force 和Sense ）接口. ★2.12 具有集成硬件控制面板，提供快速、安全、方便的系统控制和测试操作。集成鼠标和键盘。 2.13 配有真空泵和压缩机 2.14 GPIB 控制软件，IEEE 488.1 和488.2 3 探针座（功能：提供高精度的X/Y/Z移动，支撑各种类型的测试头部，并且为针尖与样品电极提供准确定位，确保接触的可靠性） ★3.1 2个射频探针座及相应的带屏蔽的探针臂，东西向支持110GHz及以上测试，东西向均含有频率扩展适配器可与R＆S 扩频模块搭配。带有1个数字千分尺可用于精确调整X 轴。射频探针座XY方向行程不小于25mm, Z方向行程不小于15mm. 1个射频探针座及相应的带屏蔽的探针臂，支持南北向67GHz以下测试，该射频探针座XYZ 方向行程均大于12mm. 3.2 3个67GHz射频探针,GSG,1.85mm，接头的角度为45度。1个相应的校准片，校准片支持常规的SOLT,TRL,LRM 等校准方式。 配有相应的校准软件。1个接触基片，2个射频探针清洁片. 3.3 DC-67GHz 柔性射频电缆组件,3根，120cm 长，接头形式：1.85mm（m） to 1.85mm（f） ★3.4 包含4个高精度开尔文直流针座及相应的带屏蔽探针臂，探针座X/Y/Z 移动分辨率 ≤2μm，在X/Y/Z方向行程≥10mm. 3.5 直流Kelvin 探针漏电流最低可达10fA，2包（10个） | 938000.0 |
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