项目名称：真空镀膜机

项目编号：XF-WSBX-2200405

公告开始日期：2022-09-07

公告截止日期：2022-09-14

采购单位：null

付款方式：货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。

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签约时间要求：

到货时间要求：成交后60天

预算总价：450000元

收货地址：浙江大学三门OLED产业研究中心-浙江省杭州市金色西溪1号楼1208

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品：真空镀膜机

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：机电设备

预算单价：450000.0

技术参数及配置要求：真空室 真空室尺寸大致为500mm×600mm×650mm。 真空室应装有两个可以完全打开的门，前门为快开门，打开后可以对腔体内部进行维护；后面是推拉门，可以与手套箱连接。 腔体的极限真空要达到2x10-5Pa，在氮气保护下开门装卸基片和更换镀料后，重新抽真空需在10分钟内达到5x10-4Pa的真空度。 基片装置 六个磁力传动的旋转基片，最大尺寸为32*32mm，可自动识别的基片位置。基片架转速为0-60转/分（转速可调）。 蒸镀均匀度应优于±3%。 基片总挡板，气动控制，可通过触摸屏操作。 蒸发源 要求有14个蒸发源，其中束源炉式有机蒸发源12套，电极式金属蒸发源2套。 蒸发源都应配有独立的电动挡板，可单独打开或关闭，操作在触摸屏上完成。每个源应有独立防污罩，防止源与源之间的污染。 有机源加热温度均匀，寿命要超过1000小时，温度最高要能达到800℃。多源间不应有温度干扰。 金属源要采用水冷电极，蒸发舟尺寸为90mm。 有机蒸发电源控温精度应达到±1℃，温度调节需在触摸屏上完成。 金属蒸发电源应采用百分比功率控制，操作及切换需在触摸屏上完成。 膜厚测量 四通道膜厚仪，应达到以下要求： QCM 输入 4 测量频率范围 Adjustable: 1.0 MHz minimum，6.5 MHz maximum 频率分辨率 ± 0.012 Hz 频率稳定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C 厚度和速率分辨率/测量 ±0.015 测量周期 0.10 to 1.0 s (adjustable) 存储 100 processes, 1000 layers, 50 films 数字输入 5 VDC non-isolated 输出信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits 控制输出 4 四个水冷膜厚探头应安装在蒸发源上方。 真空系统 真空分子泵应达到以下参数： 抽气速（L/S） 1300 压缩比 N2 ＞10E9， H2 ＞1×10E4 极限压强（Pa） ＜5×10E-7 电机转数（rpm） 24000 振动值 ≤0.1μm 启动时间（min） ＜5 冷却方式 水冷 水冷冷却水温度（℃） ≤20 机械泵 BRV16应达到以下参数： 抽气速率 m3/h 14.4 极限压力（Pa） ＜5×10E-1 电机功率（kw） 1.5 电压（三项） 380 所需油量（L） 1.5 进气接口 KF25 出去接口 KF25 重量（KG） 27 复合真空计，应达到大气---1x10E-5Pa的测量范围。 控制系统 应采用触摸屏控制，要求设备的所有操作均可在触摸屏上完成。 控制内容包括： 机械泵、分子泵、阀的启、停； 在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统； 基片台的旋转，基片的选择，基片总挡板的开关； 蒸发源的控制，蒸发源挡板的开关。 独立可更换衬板 真空室应配有衬板系统，便于清洗及更换，减小真空室的污染。

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