采购项目名称：聚焦离子束灯丝镓源光阑等
采购项目编号：清设比选20231339号
对外联系人：孙浩鑫
联系电话：13223699565
采购单位：清华大学
物资名称：聚焦离子束灯丝镓源光阑等
采购数量：1
计量单位：台
技术参数及配置要求：蔡司Crossbeam340型聚焦离子束用灯丝、镓源、光阑等
Ga source：
材质Ga，分辨率为3nm，具备引出极、抑制极、加热和高压极，可以适配蔡司Crossbeam的离子镜筒
FIB光阑：
材质Mo，直径2mm，厚度100um，孔径500um、300um、200um、150um、100um、70um、50um、40um、25um、10um，可以适配蔡司Crossbeam的离子镜筒。
肖特基场发射灯丝：
含有钨灯丝，抑制极，引出极，氧化锆，分辨率0.9nm@15kV，1.8nm@1kV
灯丝电流小于2.5A，引出电压小于6kV，引出电流小于500uA，可以适配蔡司Crossbeam的离子镜筒
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