项目名称	深硅刻蚀设备维修服务	项目编号	ZBDXJC-20230178
公告发布日期	2023/11/21 14:52	公告截止日期	2023/11/24 14:52
采购单位	中北大学	付款条款	设备维修至正常运行且经验收完成后，学校一次性支付100%合同款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
采购预算	￥98,000.00
送货/施工/服务期限	合同生效之日起合同签订后1周内日内
送货/施工/服务地址	山西省太原市尖草坪区学院路3号中北大学
履约保证金	无

   采购清单
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采购内容		是否进口	计量单位	采购数量	售后服务及其他要求
深硅刻蚀设备维修服务		否	套	1	维修过程中产生的相关耗材或配件的质保期不少于12个月
参考品牌及型号	不限定品牌型号
技术参数要求	1、静电吸盘翻新 2、工艺腔体漏气排故、密封圈耗材及故障处理 3、Chiller异常报警排故及处理 4、Helium Back Pressure Fault故障及处理 5、MAGPOWER故障 6、报价包含设备维修过程中产生的工时费、耗材、配件及其它等所有费用